YST 1371-2020离子注入机用钨材.PDFVIP

ICS 77.150.99 H63 YS 中华 人 民共 和 国有 色 金 属 行 业 标 准 YS/T 1371—2020 离子注入机用钨材 Tungstenmaterialfor ion implanter 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 离子注入机用钨材 1 范围 本标准规定了离子注入机用钨材 （钨板和钨杆）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、 运输、贮存、质量证明书和订货单 （或合同）等内容。 本标准适用于离子注入机用钨板和钨杆。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本 （包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 1031 产品几何技术规范(GPS) 表面结构 轮廓法 表面粗糙度参数及其数值 GB/T2828.1-2012 计数抽样检验程序 第1部分：按接收质量限(AQL)检索的逐批检验抽样计划 GB/T3850 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T4324.25 钨化学分析方法 第25部分：氧量的测定 脉冲加热惰气熔融-红外吸收法 GB/T4324.26 钨化学分析方法 第26部分：氮量的测定 脉冲加热惰气熔融-热导法和奈氏试剂分 光光度法 GB/T4324.27 钨化学分析方法 第27 部分：碳量的测定 高频燃烧红外吸收法 GB/T4340.1 金属材料 维氏硬度试验 第1部分：试验方法 GB/T 14265 金属材料中氢氧氮碳和硫分析方法通则 YS/T901 高纯钨化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法 3 技术要求 3.1 化学成分 产品的化学成分应符合表1规定。 表1 离子注入机用钨材的化学成分 （质量分数）/ % 化学成分 含量 a 主成分，不小于 W 99.98 Na 0.00250 Cr 0.00150 Fe 0.00150 杂质成分，不大于 Ni 0.00150 Mo 0.00150 Ta 0.00150 1 YS/T XXXX—XXXX 表3 离子注入机用钨杆的密度要求 直径 密度 mm