Q_BSZ002-2020抛光液企业标准.pdf

Q/BSZ 北京航天赛德科技发展有限公司涿州分公司企业标准 Q/BSZ 002—2020 代替 Q/BSZ 002-2017 抛光液 2020-03-27 发布 2020-03-31 实施 北京航天赛德科技发展有限公司涿州分公司 发 布 Q/BSZ 002—2020 前 言 本标准参照HG/T2521-2008 《工业硅溶胶》标准制定。 本标准由北京航天赛德科技发展有限公司涿州分公司提出并起草。 本标准主要起草人：裴亚利、朱晓辉。 I Q/BSZ 002—2020 抛光液 1 范围 本标准规定了抛光液的技术指标、检验方法、检验规则和包装、采样、贮存。 本标准适用于以硅酸钠、硫酸为原料，按一定的生产工艺制备，主要用于蓝宝石、硅片、金属、砷 化镓、陶瓷等材料的抛光液。 化学名称：二氧化硅 分子式：SiO2 结构式：O-Si-O 分子量：60.08 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T603 -2002 化学试剂 试验方法中所用制剂及制品的制备 GB/T6680-2003 液体化工产品采样通则 HG/T2521-2008 工业硅溶胶 JJF1070-2005 定量包装商品净含量计量检验规则 国家质量监督检验检疫总局第75号令[2005] 《定量包装商品计量监督管理办法》 3 分类、型号 抛光液分为五类： Ⅰ类：GA 系列，主要用于砷化镓材料抛光。 Ⅱ类：SI 系列，主要用于硅片材料抛光。 Ⅲ类：ME 系列，主要用于铝合金、不锈钢等金属材料抛光。 Ⅳ类：AL 系列，CS 系列，主要用于蓝宝石、碳化硅等材料抛光。 Ⅴ类：ZR 系列，主要用于陶瓷材料抛光。 4 要求 4.1 外观：乳白色液体。 1 Q/BSZ 002—2020 4.2 产品的化学、物理性能硬符合表1 所列的各项技术要求。 表1 抛光液技术要求 指标 检测项目 Ⅰ类 Ⅱ类 Ⅲ类 Ⅳ类 Ⅴ类 平均粒径，nm 60～110 30～80 80～110 100～130 60～110 pH值 9.5～12.0 10.5～12.6 10.0～11.0 10.0～11.0 9.0～12.6