第6章压电式传感器1知识分享.ppt

第六章 压电式传感器; 压电式传感器的工作原理是某些物质的压电效应为基础，它是一种自发电式传感器(物性型，能量转换型)。 压电式传感器是一种典型的“双向传感器”。 具有体积小、重量轻、结构简单、工作可靠、固有频率高、灵敏度和信噪比高等优点。 主要缺点是无静态输出，阻抗高，需低电容低噪声电缆，很多压电材料的工作温度只有250°C左右。;第一节 压电效应;一、压电效应的表达式;i=1、2、3，分别表示X、Y、Z三个方向。 j=1~6，其中1、2、3表示X、Y、Z方向受到的应力，4??5、6表示X、Y、Z方向上右手旋转的剪切应力。;这样，压电材料的压电特性可用压电常数矩阵表示，;二、压电常数和耦合系数;（二）压电常数h 表示每单位机械应变在晶体内部产生的电势梯度，是关系到压电材料机械性能的参数。 hij=gijE E—晶体的杨氏模量。 （三）机电耦合系数K 它是反映压电材料的机械能与电能之间相互耦合关系的物理量，其值为 K2=由机械能转变而来的电能/输入的机械能（正压电效应） 或： K2=由电能转变而来的机械能/输入的电能（逆压电效应） 机电耦合系数是一个没有量纲的物理量，它与其它压电常数的关系为;第二节 压电材料;1.单晶体; X轴：平行于相邻棱面内夹角的等分线，垂直于此轴的棱面上，压电效应最强，故X轴又称电轴。 Y轴：垂直于六边形对边的轴线（即垂直于六边形边线）为Y轴，由于在电场作用下，沿该轴方向的机械变形最明显，故Y轴又称为机械轴。 Z轴：在垂直于X、Y轴的方向定义为Z轴，由于沿该方向没有压电效应，且光经过该方向不发生折射，因此该轴称为光轴或中性轴。; 石英晶体具有压电效应，是由其内部结构决定的。组成石英晶体的硅离子Si4+和氧离子O2-在Z平面等效投影，如右图，图中“＋”代表Si4+，“－”代表2O2-。 ; 当有?1作用时，晶体X、Y、Z方向都产生伸缩变形，但仅在X方向上产生压电效应，而Y和Z方向电偶极距为0。 因此d11?0，d21=d31=0。; 当有?2作用时，X方向产生压电效应，但极性与?1相反，而Y和Z方向仍无压电效应。因此 -d11=d12?0 ， d22=d32=0 。 当有?3作用时，不产生压电效应。因为晶体沿X方向和沿Y方向所产生的正应变完全相同，所以，正、负电荷中心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。因此 d13= d23=d33=0 。 当?23作用时产生切应变，同时有X方向的伸缩变形，故X方向上有压电效应。因此d14?0， d24=d34=0 。 当?31和?12作用时，这种应变改变了Y方向上的p=0状态，故Y方向有压电效应。因此d15=0， d25?0， d35=0，d16=0， d26?0 ，d36=0 。并且有d25=-d14， d26=-2d11 。 ;其中：d11 = ±2.31?10-12 (C/N) d14 =±0.73?10-12 (C/N) ?r = 4.5 在?1和?2作用下产生的效应分别称为“纵向压电效 应”和“横向压电效应”。?;2）石英晶体压电特性; 居里点或倒转温度：石英晶体在常温时d和?几乎不随温度变化，但达到573 °C会失去压电特性，该温度是其~。;天然形成的石英晶体外形;天然形成的石英晶体外形（续） ;石英晶体切片及封装;2.多晶体; 式中d33—纵向压电常数。（其下角注的意义与石英晶体相同，只是在压电陶瓷中把它的极化方向定为Z轴。） d33 = 190?10-12(C/N) d31 = - 78?10-12(C/N) d15 = 250?10-12(C/N) ?r = 1200; 工作机理： 原始的压电陶瓷材料没有压电性，陶瓷烧结后有自发的电耦极矩形成的微小极化区域称为“电畴”，它们是压电特性的基础，可惜它们在原始材料中是无序排列的，各自的极化能力相互抵消。 当这些小的电畴在20~30kV/cm的极化电场中放2~3h后，将使极性转到接近电场方向。这一过程称为人工极化过程。 经极化处理后，压电陶瓷便具有压电效应。;2）压电陶瓷的压电特性;PVDF（压电聚合材料）;第三节 压电元件常用结构形式;一、压电元件的基本变形;（三）面剪切变形（FS方式） （X切晶片） （Y切晶片） （四）厚度剪切变形（TS方式） （Y切晶片） （五）弯曲变形（BS方式） 是拉、压应力的组合，根据具体情况而定。;纵向和横向压电效应的另一种表示。;二、双晶片元件;电荷为 （+