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角度测量仪的设计 摘要：因为工业 4.0、智能智造等概念逐渐发展，怎样精准得到并量化体现机器设备角度变化成为必须解决的难题，设施寿命，产品质量等生产成本标准与测量值的准确性有很大的联系。所以，高灵敏、高精度、功能丰富的新型角度传感器的研发与生产智能化生产道路的发展合在了一起。角度检测科技发展不断进步，出现了丰富多彩的角度传感器。其中电容式角度传感器具有分辨率高、动态回应好、稳定性好、结构简单和成本不高等特性，十分具有研究价值。由于电容式传感器传统的测量电路繁琐、很难消除寄生电容、输出非线性的不足，导致了电容式角度传感器的分辨率不高、成本高和测量范围小。本文设计了一种电容式角度传感器构造，研究了