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電子颡微鏡原理 班級:微電三甲 學生:4973a057黃昭穎 4973a058蘇暐倫 指導老師:方  目錄 」電子顯微鏡原理 電子顯微鏡的種頫 穿透式電子顯微鏡的原理 」穿透式電子顯微鏡成像原理 掃描式電子顆微鏡的原理 掃描式電子顯微鏡的成像原理  電子顒微鏡原理 電子颐微统杀统由電子槍( electron gun)發射電子束’經過一 组磁透鏡( condenser lens)聚焦後’用遮蔽 孔徑( condenser aperture)择電子束的尺寸( beam size),通過控制電子束的掃 描圈,再透通物鏡( obiective lens)聚焦打在试片表面,激 發出電子訊毙  電子顒微鏡的種類 (1)挤描式電子顯微统SEMD 方很大的景深,對粗糙的表面,例如凹凸不平的金屬斷面顯示得 清楚,而且立础感很強  電子顒微鏡的種類 (2)穿透式電子顯微鏡(TEM 穿透式電子微鏡將欲疵察的試片放在電子槍內使靶察的解析 掃描式高,但因為電子束须穿透試,所以所需的加速電壓 相對比掃描式電子顯微统來的高