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压电式传感器：典型有源传感器。 原理：压电效应（石英晶体、压电陶瓷晶体） 适用于动态力学的测量，但不适用于静态测量 （与力相关的动态参数测量） * 第5章 压电式传感器 第5章 压电式传感器 5.1 压电效应及压电材料 5.2 压电式传感器测及量电路 5.3 压电式传感器的应用 5.1 压电效应及压电材料 某些晶体，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷， 当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态。这种现象称压电效应。 当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转换为电能的现象， 称为“正压电效应”。 正压电效应 逆压电效应 当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生几何变形，这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。 具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能实现机—电能量的相互转换，如图5 - 1所示。 ? 图5-1 压电效应可逆性 压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。  压电材料的主要特性参数有：  ① 压电常数: 压电常数是衡量材料压电效应强弱的参数，它直接关系到压电输出灵敏度。  ② 弹性常数: 压电材料的弹性常数、刚度决定着压电器件的固有频率和动态特性。 压电材料 ③ 介电常数: 对于一定形状、尺寸的压电元件，其固有电容与介电常数有关；而固有电容又影响着压电传感器的频率下限。  ④ 机械耦合系数：它的意义是，在压电效应中，转换输出能量（如电能）与输入的能量（如机械能）之比的平方根，这是衡量压电材料机—电能量转换效率的一个重要参数。  ⑤ 电阻: 压电材料的绝缘电阻将减少电荷泄漏，从而改善压电传感器的低频特性。  ⑥ 居里点温度: 它是指压电材料开始丧失压电特性的温度。 石英晶体 图5-2(a)表示了天然结构的石英晶体外形，它是一个正六面体。石英晶体各个方向的特性是不同的。 其中纵向轴z称为光轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的x称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。 通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”， 而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。 而沿光轴z方向的力作用时不产生压电效应。 图5-2 石英晶体 (a) 晶体外形； (b) 切割方向； (c) 晶片 光轴 机械轴 电轴 若从晶体上沿y方向切下一块如图5-2（c）所示的晶片，当沿电轴方向施加作用力Fx时，在与电轴x垂直的平面上将产生电荷， 其大小为 (5-1) 式中, d11为x方向受力的压电系数。  若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力Fy，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷qy，其大小为 (5-2) 式中：d12——y轴方向受力的压电系数，根据石英晶体的对称性， 有d12=-d11； a、b——晶体切片的长度和厚度。  电荷qx和qy的符号由受压力还是受拉力决定。  石英晶体的上述特性与其内部分子结构有关。 图5-3 石英晶体压电模型 (a) 不受力时； (b) x轴方向受力； (c) y轴方向受力 因为P=ql, q为电荷量，l为正负电荷之间距离。此时正负电荷重心重合，电偶极矩的矢量和等于零，即P1+P2+P3=0，所以晶体表面不产生电荷，即呈中性。  当石英晶体受到沿x轴方向的压力作用时，晶体沿x方向将产生压缩变形，正负离子的相对位置也随之变动。如图5-3（b）所示，此时正负电荷重心不再重合，电偶极矩在x方向上的分量由于P1的减小和P2、P3的增加而不等于零。在x轴的正方向出现负电荷， 电偶极矩在y方向上的分量仍为零，不出现电荷。  当晶体受到沿y轴方向的压力作用时，晶体的变形如图5-3c）所示。与图5-3（b）情况相似，P1增大，P2、P3减小。在x轴上出现电荷，它的极性为x轴正向为正电荷。在y轴方向上仍不出现电荷。 如果沿z轴方向施加作用力，因为晶体在x方向和y方向所产生的形变完全相同，所以正负电荷重心保持重合，电偶极矩矢量和等于零。这表明沿z轴方向施加作用力，晶体不会产生压电效应。  当作用力Fx、Fy的方向相反时，电荷的极性也随之改变。 压电陶瓷 压电陶瓷是人工合成的多晶体压电材料。 原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质,