主要失效分析仪器与主要参数.pptVIP

元器件失效分析 失效分析用主要设备 的作用和参数  相关参数用什么仪器、设备来测试 仪器、设备的极限能力 形貌(显微形貌)观察设备 ·电参数测试设备 (包括一些电参数测试的辅助性设备) ·化学成分和组成分析设备 其它专项检测设备 其它辅助性设备  类 仪器名称 形貌观察设备 显微镜(体视显微镜、金相显微镜)、扫描电子显微镜、 x射线透视系统、扫声学显微镜。 常规电参数测试设高阻仪、LCR参数测试仪、漏电流测试仪、耐压测试仪、晶 备(包括一些辅体管图示仪、网络分析仪、频谱分析仪、模拟信号源、全集 助性的测试设各)成数字多路踪曲线分析仪、半导体参数测试仪、集成电路 数测试仪,其它常用电参数辅助性测试设备有频率计、功 微安计、直流电源、微欧计、示波器等 化学成分和组成分析X射线能谱仪、显微红外光谱分析仪、离子色谱分析仪 设备 其它专项检测设备粒子碰撞噪声检测仪、密封性检测设备(氢气氟油加压检 漏装置、氦质谱检漏仪)、内部气氛分析仪、全自动抗静电 抗闩锁测试系统、红外热象仪、拉力剪切仪。 其它辅助性设备(开塑封器件喷射腐蚀开封机、反应离子刻蚀机,抛光研磨机 封、去钝化层、环各种环境试验箱 境试验等)  光学显微镜 ●体视显微镜(反射式和透射式) 特点:放大倍数较低:景深大,立体感强 用途:器件的外观及尖效部位的表面形状、尺