《多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体》.pdf

29．035．30 ICS Q32 备案号：51019--2015 JC 中华人民共和国建材行业标准 2349—2015 JC／T 多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体 ceramic Si抖4 insulation for silicon componentspolycrystalline production 2015-07-14发布 中华人民共和国工业和信息化部发布 中华人民共和田 建材行业标准 多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体 JC／T2349_一2015 + 中墨建材工业出版社出版 各地新华书店经售 北京市展兴印刷厂印刷 版权所有不得翻印 ^ 开本880x1230 1／16印张0．75字数12千宇 2015年12月第一版2016年1月第二次印刷 印敷80l—IOOO册定价26．∞元 统一书号：155160·723 ★ 编号l 1081 本社网址：www．jccbs．com．cn电话：(010 地址t北京市海淀区三里河路I号邮犏：100044 本标准如出现印装质量问嗣，由发行部负责调换． JC，r2349—．2015 刚 茜 本标准按照GB／T 1．1—2009的规则编写。 本标准由中国建筑材料联合会提出。 本标准由全国工业陶瓷标准化技术委员会(SAC／TC194)归口。 本标准起草单位：北京中材人工晶体研究院有限公司、山东工业陶瓷研究设计院有限公司。 本标准主要起草人：张伟儒、张哲、王方香、丁艳、康华峻、邹景良、徐鹏、吴萍。 本标准为首次发布。 JC，r2349—-2015 多晶硅生产用氮化硅陶瓷绝缘体 1范围 表1 绝缘体的物理性能 项目 性能指标 体积密度／(g／cm) ≥3．20 维氏硬度(载荷值10 ≥13．O kgf)／GPa 抗弯强度／MPa ≥500 断裂韧性／(MPa-m…) ≥5．0 击穿电压／kV ≥lO 热膨胀系数(室温～500℃)／(t／℃)