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PVD COATING PROCESS 东庵 ( 天津 ) 金 屬有限公司 Arc PVD Coating 概要 利用 PLASMA 在 TARGET 表面使用 ARC ， E-Beam ， Direct heating 等蒸 发金属物质后增加加速 Bias 电压在产品表面蒸着的真空法。 Titanium(Ti) is vaporized, ionized and accelerated in one step by the arc, e-beam, direct heat. Reactive gas is added to the metal ions and ionized. All ions are accelerated towards the workpiece by the BIAS voltage T a r g e t C a t h o d e N 2 Reactive gas W o r k p i e c e TiN Ti + Ti ++ 0 ~ -1000V BIAS Voltage BIAS Voltage Vaporization, ionization Solid Target( Ti ) Ti ++ Ti ++ Ti + Ti + 0 ~ ? Arc E-beam Direct heat Heated ion cloud = Plasma 东宇热处理工业（株） PVD Coating 特征 ● 高硬度 （ High Hardness ） ● 高密度的组织 （ Dense Structure ） ● 平滑表面 （ Smooth Surface ） ● 低磨擦率 （ Low Friction Coefficient ） ● 化学 稳定性及无反应性 ● 低热传导 （ Low thermal comductivity) ● 密着特性 （ Excellent adhesion) 涂层膜 颜色 硬度 (Hv) 耐磨性 耐蒸着性 耐腐蚀性 耐散化性 使 用 TiN 金色 ~2,500 ★★ ★★ ★★ ★★ 切割工具，金属，技能型配件，装饰 TiAlN 黑色 ~3,000 ★★★ ★★ ★★ ★★★ 切割工具 CrN Metal ~2,000 ★ ★★★ ★★★ ★★ 金属 , 机械配件 ( 耐腐蚀性 ) Coating 膜 种类及特性比较 东宇热处理工业（株） 电子配件制陶术粉末ＰＵＮＣＨ ＰＵＮＣＨ类 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例 -TiN 材质 : ＨＳＳ 膜厚度 : 3 ? 涂层膜种类 : TiN 备 注 : 未涂层时划痕涂层后提高１０倍以上的寿命效果 。 材质 : ＨＳＳ 膜厚度 : 3 ~4 ? 涂层膜种类 : TiN 备 注 : 涂层后提高寿命效果 。 东宇热处理工业（株） 普通钢板弯曲用 Die(1.3t) PVD 涂层应用事例 -CrN 材 质 : SKD11 膜厚度： 5 ? 涂层膜种类： CrN 备 注：应用 T.D 处理时因变形问题应用 CrN 涂层 普通钢板弯曲用 Die(1.3t) 材 质 : SKD11 膜厚度： 5 ? 涂层膜种类： CrN 备 注：未涂层时 100 个左右 , 涂层时可以加工数万个 CROSS MBR STEELS (LH, 1.4t) CROSS MBR STEELS (RH, 1.4t) 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例 -CrN 材 质 : SKD11 膜厚度： 5 ? 涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层） 备 注：完全解除 Steels 变形及提高形形成 ( 磨擦系数低 ) 材 质 : HK700 (SKD11 类似钢种 – 铸钢 ) 膜厚度： 5 ? 涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层） 备 注：应用 T.D 处理时因变形问题应用 CrN 涂层 FR SIDE MBR STEELS 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例 -CrN 材 质 : SKD11 膜厚度： 5 ? 涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层） 备 注：完全解除 Steels 变形及提高形形成 ( 磨擦系数低 ) FR SIDE MBR STEELS 材 质 : SKD11 膜厚度： 5 ? 涂层膜种类： CrN （ Duplex Coating , ION 氮化 + 涂层） 备 注：应用 T.D 处理时因变形问题应用 CrN 涂层 BUMPER STEELS(1.6t) FUEL TANK STEELS(0.8t) 东宇热处理工业（株） PVD 涂层应用事例