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第一章目前的微电子制造技术可以分为四个方面:双极型制造工艺、MOS制造工艺、Bi-CMOS制造工艺和SOI制造工艺。
双极型工艺的优缺点:(1)缺点:双极型工艺过程复杂、成本高、集成度低,在现在的超大规模集成电路中已经很少单独使用。(2)优点:双极型工艺速度快、较大的电流驱动能力等特点是CMOS工艺所达不到的。在某些情况下,作为CMOS工艺的补充,双极型工艺仍然被少量地使用。
双极型三极管:是双极型工艺的典型器件,由两种载流子参与导电,由两个pn结组成,是一种电流控制电流源器件,分为PNP和NPN两种。
PN结隔离分为三种结构:
(1)标准下埋集电极三极管(SBC)
集电极扩散隔离三极管(C
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