光栅式位移测量.pdf

内蒙古工业大学科研训练论文 ( 文献综述 ) 光栅式位移测量 欣欣 机械学院 摘要 光栅是高精度位移测量元件， 它与数字信号处理仪表配套， 组成位移测量系统， 被广泛地应用于数控机床等自动化设备当中。 光栅测量位移的原理主要是利用光栅莫 尔条纹原理来实现的 . 本文主要介绍了光栅的测量位移原理以及几种干涉的测量方法， 有助于简单了解光栅式位移测量。 关键词 光栅 莫尔条纹 辨向 光栅干涉 1 引言 随着人们对大量程、 高分辨力和高精度的测量要求的不断深化， 光栅位移测量技 术正在受到越来越广泛的重视。 相比于其它高精度位移测量方法， 光栅位移测量在结 构、光路、电路和数据处理方面都比较简单、紧凑，整个系统体积小、成本低、易于 仪器化、适合于推广应用；同时，它以实物形式提供测量基准，既可以采用低热膨胀 系数的石英或零膨胀玻璃等材料作为基体， 也可以采用具有和钢等材料非常接近的热 膨胀系数的玻璃或金属材料作为基体， 稳定可靠， 零点漂移极小， 对环境条件的要求 低，对实验研究及工程应用都非常方便，在位移测量领域具有广阔的发展前景。 传统的光栅测量系统一般是采用接受光栅副的莫尔条纹信号，然后进行电子细分 和处理来实现位移量的测量。 但此类基于光强幅度调制的测量系统， 为达到信噪比很 大的稳定输出，必须使得经莫尔条纹产生的光电输出电压的交变成分幅值尽可能大。 这就要求标光栅和指示光栅之间的距离必须很小且稳定。 中间不能有异物而生产现场 环境恶劣， 常常会因为污染而使传感器信号变坏， 甚至不能工作。 粗光栅位移测量系 统继承了传统光栅测量的优点， 同时又改进了它的不足。 它采用栅距为 0.635mm的反 射式粗线纹光栅尺光学系统设计成物方远心光路， 取消了指示光栅这种系统中光栅尺 不用密封。传感头与光栅尺之间工作间隙为 15mm左右，表面不怕沾有油或水。同时 由于其具有自对准特性加之线纹间距大， 因而具有接长方便的特点。 特别适用于需要 进行大范围测量和定位的各种大中型数控机床。 2 光栅式位移测量分析 2 ．1 光栅测量原理 2．1．1 光栅的分类和结构 光栅种类很多，可分为物理光栅和计量光栅。物理光栅主要是利用光的衍 射现象，常用于光谱分析和光波波长测定，而在检测技术中常用的是计量光 栅。计量光栅主要是利用光的透射和反射现象，常用于位移测量，有很高的分 辨力。计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大类，均由光源、主光栅、指 示光栅、光电元件三大部分组成。光电元件可以是光敏二极管，也可以是光电 池。透射式光栅一般是用光学玻璃或不锈钢做基体，在其上均匀地刻划出间 距、宽度相等的条纹，形成连续的透光区和不透光区。 计量光栅的结构图如图 2 ．1 所示。 1 内蒙古工业大学科研训练论文 ( 文献综述 ) 2．1．2 莫尔条纹 下面以透射式黑白光栅为例来分析光栅测量位移的工作原理。 把长短两块光栅重叠放置，但中间留有微小的间隙，并使两块光栅的刻 线之间有一很小的夹角 p，如图 2 ．2 所示。当有光照时，光线就从两块光栅刻 线重合处的缝隙透过，形成明亮的条纹，如图 2 ．2 中的 a-a 所示。在两块光栅 刻线错开的地方，光线被遮住而不能透过，于是就形成暗的条纹，如图 2．2 中 的 b-b 所