Q_SCJZD001-2020真空腔体等离子驱动电源.pdf

四川九洲天虹机电有限公司标准 Q/SCJZD001-2020 真空腔体等离子驱动电源 2020-4-13 发布 2020-4-13 实施 四川九洲天虹机电有限公司批准 前 言 真空腔体等离子驱动电源为低温、高频低气压实验室等离子体发 生器驱动电源，设有过载、欠流等报警功能，使用安全可靠。经查， 该设备现无国家标准和行业标准，为确保产品的质量和可靠性，特制 定本标准。 本标准由四川九洲天虹机电有限公司提出和起草。 标准起草人 鲜胜 蹇崇礼 本标准首次发布：二零一八年 本标准第一次修订：二〇二〇年四月 四川九洲天虹机电有限公司企业标准 目 录 前言 1. 范围 …………………………………………………………………………(1) 2. 引用标准 ……………………………………………………………………(1) 3.