直拉单晶炉设备简介结构.pptVIP

e)川参学院(氧川学) 直拉单晶磁工艺技术 主讲教师:裴迪 石油化工学院 第二章直拉单晶驴 ◆直拉单晶炉是用于直拉法单晶生长的设备 ◆炉子分两部分组成:机械部分和电控系统。 ◆炉体为一带水套的不锈钢炉室,其内装有由石 墨加热器和石墨保温套构成的热场 ●籽晶轴和坩埚轴分别从炉室顶部和底部插入炉 内,两轴具有转动和升降的机械传动系统。 ◆下轴顶端装有石英坩埚,埚内可装入多晶硅料 以供拉晶用 直拉单晶炉的需求 为了提高生产效率,降低成本,也为了保证器件参数 的一致性、可靠性,都希望直拉单晶大直径化,设备控制 高度自动化。目前世界上已制造出了装料量达400kg以上, 单晶直径达300mm以上,从抽空到拉晶结束全部自动化控 制,且稳定性、可靠性极好的大型直拉单晶设备。为了提 高单晶的内在质量或者某方面参数的特殊要求,也出现了 磁场法直拉单晶炉和具有两个主炉室的连续加料直拉单晶 炉等。 直拉单晶炉的改良 1.为了缩小设备高度、增加稳定 性,目前普遍采用软軸代替原来的硬 轴 2.为了实现重复加料及重复拉晶, 都采用一下一上两个炉室(主室和副 室); 直拉单晶妒的改良 3.为了确保真空度和转动的稳定性,大 都在上、下轴的旋转部分安装磁流体密封。 4.为了加大了投料量,在电源、水冷及 炉压监控上,采用了多种安全保障措施和安 全装置,电气上做到了全程自动控制和数据 交换,温度自控、等径自控和安全报警等。