石英晶振仪原理的资料.ppt

石英晶振简介 :石英晶振的原理 :膜厚控制仪原理 三:晶振片的选择 四:使用晶振片注意事项 石英晶振的原理 1.1晶振片是怎么来的 科学家最早发现一些晶体材料,如石荬,经挤压就象电池可产生电流(俗称压电 性),相反,如果一个电池接到压电晶体上,晶体就会压缩或伸展,如果将电流 连续不断的快速开关,晶体就会振动 ■在1950年,德国科学家 GEORGE SAUERBREY研究发现,如果在品体的表面上 镀一层薄膜,则晶体的振动就会减弱,而且还发现这种振动或频率的减少,是由 薄膜的厚度和密度决定的,利用非常精密的电子设备,每秒钟可能多次测试振动 从闻实现对晶体镀膜厚度和邻近基体薄膜厚度的实时监控。从此,膜厚控制仪就 溥薄圆圆的晶振片,来源于多面体石英棒,先被切成闪闪发光的六面体棒,再经 过反复的切割和研磨,石英棒最终被做成一堆薄薄的(厚0.23mm,直径 398mm)圆片,每个圆片经切边,抛光和清洗,最后镀上金属电极(正面全 镀,背面镀上钥匙孔形),经过检测,包装后就是我们常用的晶振片了 用于石英膜厚监控用的石英芯片采用AT切割,对于旋光率为右旋晶体,所谓AT 切割即为切割面通过或平行于电轴且与光轴成顺时针的特定夹角。AT切割的晶 其振动频率对质量的变化极其 但却不敏感于温度的变化。这些特性使 的膜厚监控 12晶振片的原理 有英晶体是离子型的晶体。电结最阵的有规则分布:发生机槭变 体在98×104Pa的 0.5V的电位 电现象有逆现 石英晶体在电场中晶体的大小 会发生变化,伸长或缩短 种现象称为电致伸纟 石英晶体压电效应的固有频率不仅取决于其几何尺 割类型而且 率精应的袋减。上若英体的 的 通过测量频率或与 笑器量的夔花监 淀积溥膜的厚度 英晶体法监控膜厚,主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效 石英晶体厚度增量产生的晶体频率变化:△f= 若厚度为d的石英晶体厚度改变△d,则晶振频率变化△f, 量△d通过质量变换转换成层厚度地最以需萋把石美品体厚度增 A是受镀面积,pM为膜层密度,po为石英密度等于265gcm3。于是 △d=(pM/pa)"△dM,所以 镀膜时膜厚增量产生的晶体频率变化: Pe N M 令_Pm,-s则 式中S称为变换灵敏度 对于一种确定的镀膜材料pM为常数,在膜层很溥,即沉积的膜层质量远 小于石英芯片质量时固有频率变化不会很大这样我们可以近似的把S看成 常数,于是上式表达的石英晶体频率的变化△f与沉积薄膜厚度△dM有了 个线性关系因此我们可以借助检测石英晶体固有频率的变化,实现对膜厚 的监控。显然这里有一个明显的好处,随着镀膜时膜层厚度的增加,频率 单调地线性下降,不会出现光学监控系统中控制信号的起伏,并且很容易 进行微分得到沉积速率的信号。因此,在光学监控膜厚时,还得用石英 体法来监控沉积速率,我们知道沉积速率稳定队膜材折射率的稳定性、 品的均匀性重复性等是很有好处和有力的保证