Q_TRZZ0001-2019Acceler晶圆级装片机.pdf

Q/TRZZ 唐人制造（宁波）有限公司企业标准 Q/TRZZ 0001-2019 Acceler 晶圆级装片机 2019 –12–03 发布 2019 – 12– 08 实施 唐人制造（宁波）有限公司 发 布 Q/TRZZ 0001-2019 前 言 本产品因目前尚无国家标准和行业标准，为了保证产品质量，制定本企业标准，作为组织生产和进 行贸易检验的依据。 本标准依据GB/T 1.1-2009 《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》规则进行编写。 请注意文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由唐人制造（宁波）有限公司提出并起草。 本标准由唐人制造（宁波）有限公司发布实施。 本标准主要起草人：唐亮。 本标准发布时间：2019.12.03。 I Q/TRZZ 0001-2019 Acceler 晶圆级装片机 1 范围 本标准规定了Acceler 晶圆级装片机的性能参数、要求、试验方法、检验方法、标志、包装、运输 和贮存。 本标准适用于本公司生产或委托生产的Acceler 晶圆级装片机。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成 协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的 修改单）适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB 5226.1 机械电气安全 机械电气设备 第1部分：通用技术条件 GB/T 9969 工业产品使用说明书 总则 GB/T 17626.2 电磁兼容 试验和测量技术 静电放电抗扰度试验 GB/T 17626.3 电磁兼容 试验和测量技术 射频电磁场辐射抗扰度试验 GB/T 17626.11 电磁兼容 试验和测量技术 电压暂降、短时中断和电压变化的抗扰度试验 GB/T 26675-2011 《机床电气、电子和可编程电子控制系统绝缘电阻试验规范》 GB/T 26676-2011 《机床电气、电子和可编程电子控制系统耐压试验规范》电气强度 试验和测量 技术 GB/T 26679-2011 《机床电气、电子和可编程电子控制系统保护联结电路连续性试验规范》 3 性能参数 应符合表1的规定。 表1 性能参数 性能 参数 键合力 0.5 N～15N 键合头加热 （选配） 最大200℃ 工作台加热 （选配） 最大200℃ 基板尺寸 最大Φ300mm 芯片尺寸