tcad模拟软体18套 - 国家实验研究院.docVIP

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 『TCAD模擬軟體18套』 招標規範書 TCAD模擬軟體採購 目的 本招標規格書適用於下述電子元件製程以及元件結構之設計、製造、模擬及測試等之一般要求。若本招標規格書有任何疑慮依業主解釋為準。 設備明細 TCAD 模擬系統整體需求規劃及規格建議如下：【數量：18套】 製程模擬部分 軟體內容包含業界標準的製程模擬工具，可以對半導體製程進行優化以符合規格並縮短產品開發時間。模擬軟體內容包含一個高度靈活的一維，二維和三維製程模擬工具。並且擁有準確的蝕刻與沈積模組和蒙地卡羅( Monte Carlo)離子注入模型及先進的離子注入校準表，以及擴散模型。 製程模擬工具的應用包括: 可做一維，二維和三維製程以及製程整合模擬。 可根據license數目做多核心平行處理以縮短模擬時間，1個license至少需支援4個核心的平行處理，2個licenses至少需支援8個核心的平行處理，依此類推。 可直接讀Layout 的GDS file 當作光罩然後做元件製程模擬。 可做原子動態蒙地卡羅擴散(Atomistic Kinetic Monte Carlo Diffusion)模擬。 可做蒙地卡羅離子注入(Monte Carlo Ion Implantation)模擬。 可做IV族複合材料(SiGe、SiC) 製程以及應力、應變計算及模擬。 可做II