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随着人们对生活品质的提高,对其生产品质的要求也越来越严格。电子厂与其他行业的无尘车间在建设规划时对于静电的控制主要分为两种:高湿度实际上减小了无尘车间、洁净室表面的静电荷积累,──这是大家希望的结果。较低的湿度比较适合电荷的积累并成为潜在的具有破坏性的静电释放源。
当相对湿度超过50%时,静电荷开始迅速消散,但是当相对湿度小于30%时,它们可以在绝缘体或者未接地的表面上持续存在很长一段时间。
相对湿度在35%到40%之间可以作为一个令人满意的折中,半导体无尘车间、洁净室一般都使用额外的控制装置以限制静电荷的积累。很多化学反应的速度,包括腐蚀过程,将随着相对湿度的增高而加快。所有暴露在无尘车间
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