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【图文】N面欧姆接触.docVIP

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  • 2020-07-16 发布于湖北
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【图文】N面欧姆接触.doc

    我的实验 ? 用先用HF处理表面30min，再在王水处理中 漂洗后，溅射Ti Al Ti Au，N2气氛下退火， 温度为0，400，950℃。 结果分析 0.10 950 C o 0.05 current(A 0.00 -0.05 -0.10 -2 -1 0 1 2 Bias Voltage(V 提取接触电阻率为10-6Ωcm2 表面SEM图片 我的想法 ? 王水的处理可能会在表面形成Ga-O化合物， 在高温退火时，Ti与表面氧化物反应，使得 Al与GaN反应形成AlN层。

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