表面化学分析 扫描探针显微术 悬臂法向弹性常数的测定(技术标准).pdfVIP

GB/T XXXXX—XXXX 表面化学分析-扫描探针显微术-悬臂法向弹性常数的测定 1 范围 本标准描述了五种原子力显微术探针悬臂法向弹性常数的测量方法，测量的精度误差为5%~10%。每 个方法分别隶属于尺寸法、静态实验法和动态实验法三类方法中的一种。方法的选择取决于分析所要达 到的目的，便易性及现有的仪器条件。如要获得高于5%~10%的测量精度，需要使用本标准未提及的更高 精度的方法进行测量。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 ISO 18115-2, Surface chemical analysis —Vocabulary—Part 2：Terms used in scanning-probe microscopy。 3 术语和定义 ISO 18115-2中的术语和定义和以下给出的术语和定义适用于本标准。 3.1 法向弹性常数 弹性常数 力常数 弃用：悬臂刚度 Kz AFM在探针尖（3.2）施加的法向力大小比上悬臂在探针尖位置法向的偏折量的值 注1：请见侧向弹性常数，扭转弹性常数。 注2：法向弹性常数通常被称为弹性常数。在区别于侧向弹性常数时使用全称。 注3：用来计算或测量悬臂法向弹性力常数kz 的力是法向施加在悬臂平面上的。在应用中，在AFM 悬臂可能与样品 表面所在的平面以及探针尖向样品表面趋近方向法向平面有一θ角度的倾斜夹角。这个角对于 AFM 研究中涉 及到法向弹性常数时是很重要。 3.2 探针尖 针尖 1 GB/T XXXXX—XXXX 探针尖端 探针尖部的结构，用来感测表面的尖端。 注1：参见悬臂尖端（3.3）。 3.3 悬臂顶端 距离悬臂支撑结构最远的悬臂末端。 注1：参见探针尖端（3.2），针尖尖端 （3.2）。 4 符号和缩略术语 下面列表中的缩写形式，注意最后一个“M”,根据上下文可能意为Microscopy,也可能是Microscope。 缩写形式是如下： AFM 原子力显微术 FEA 有限元分析 PSD 功率谱密度 SEM 扫描电子显微技术 SPM 扫描探针显微技术 在公式中使用的符号和缩写形式的文本: A 悬臂在一定频率的振幅 A0 悬臂在固有共振频率的振幅 Awhite 带有白噪声的悬臂平均振幅 Bφ 对Lx - φx 1/3 曲线进行线性拟合得到的斜率 Lx -1/3 Bk 对Lx – (Kz ) 曲线线性拟合得到的斜率 C1 8.2 中热振动方法的校正系数 C2 8.2 中热振动方法的校正系数 d 探针尖端和悬臂末端之间的距离 D 探针尖端高度 e V 形悬臂在距离顶端L 处的宽度 0 E 悬臂材料的杨氏模量 EB 悬臂基座材料的杨氏模量 EC 悬臂镀层材料的杨氏模量 f 频率 f0 悬臂的固有振动频率 F 纳米压痕仪作用力 h 纳米压痕仪位移 i P 的索引数，这里i 取1-5 i kB 玻耳兹曼常数 2