等离子体处理作用与介绍.pptVIP

等离子体表面处理技术讲座 深圳奥坤鑫科技有限公司 网址 制作人:钟娅  什么是等离子体及怎样建立等离子体 等寓子体 PLASMA 电黎 (中文) (英文) 湾) 等离子体的发现: 879、英国物理学家、 William Crookes--物质第四状态 1929、美国化学物理学家、 Langmuir--等离子体 等离子体定义: 部分或是全部电离的气体 主要包括:电子、离子、中性基团、分子、光子  等离子体的形成 液体→气体 等离子体 能量 能量 能量 物质的四种状态  什么是等离子体 等离子体成分,对外呈现电中性 物质的第四种形态 自由基分子 o3臭氧 0QoUv。9 +2 oo2负离子 oO UV紫外线光子 o+Oo2正离子 等离子体 G电子  等离子体工业生产模型 ≯低温等离子体的建立糸统(PCB行业);水平式和垂直式 MF/RF电源 真空计 温度测量 00o 环保处理 抽空 等离子体 真空泵组 极板 产生低温等离子体糸统