GB/T 8758-1988砷化镓外延层厚度红外干涉测量方法.pdf

UDC 661. 868. 1. 46 : 620. 1 H 21 GB 中华人民共和国国彖标准 GB 8 7 5 8 — 8 8 碎化掾外延层厚度红外干涉 测量方法 Measuring thickness of epitaxial layers of 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 gallium arsenide by infrared interference 1 988-02-25 发布 1 989-02-0 1 实施 匡1索才示准屠7发布 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 中华人民共和国国家标准 UDC 661. 868 .1. 46 ： 620. 1 碎化锦外延层厚度红外干涉 GB 8758-88 测量方法 Measuring thickness of epitaxial layers of gallium arsenide by infrared interference 本标准适用于碑化傢外延层厚度的测定。可测厚度大于2 um。要求衬底电阻率小于 0. 02 Q - cm,外延层的电阻率大于0. 1 Q . cm. 1原理 衬底与外延层的光学常数差别较大，当红外光入射到外延片表面时，在反射光谱中产生干涉条纹。 根据干涉条纹的极大值或极小值的波长位S、衬底和外延层的光学常数以及光束的入射角，计算出外延 层的厚度。 2样品要求 2-1样品应具有良好的光学表面，不应有大面积的钝化层。 国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页 2-2衬底和外延层的导电类型和衬底电阻率应是已知的。 3仪器和附件 3. 1仪器 3. 1. 1 波长范围为2.5-50 nm (4 000-200 cm-)的双光束红外分光光度计或傅立叶变换红外光 谱仪。 5. 1. 2 波长重复性和波长精度至少为0. 05 um。 3. 1. 5 在1 000 cmT处,光谱分辨率为2 cm-或更小。 5.2附件 5. 2. 1与分光光度计相匹配的反射附件，入射角不大于30。。 3-2.2光阑：应以非反射的黑体材料制成，具有各种孔径。 4测量步骤 4. 1 分光光度计校准 4. 1. 1测定波长精度和重复性。测量厚度为300-500 Hm聚苯乙烯膜吸收光谱，并以3. 303 nm吸 收带为测量参考谱带，测量10.次，其结果应满足3. 1. 2的要求。 4-1-2将反射附件置入光路中，测量100%线，其峰谷值应小于8,%。 4.2,测量条件选择 4.2.1安装反射附件” 4. 2. 2按照下列步骤选择最大的扫描速度。使用衬底和外延层电阻率分别为0. 008 0 • cm和0. 12 Q • cm的外延