Q_IST-GMR-01-2020IST-GMR-01 磁传感器企业标准.pdf

1) Q/IST 甘肃省科学院传感技术研究所企业标准 Q/IST-GMR-01—2020 IST-GMR-01 磁传感器 2020-5-1 发布 2020-5-1 实施 甘肃省科学院传感技术研究所 发 布 Q/IST-GMR-01—2020 前 言 本标准按照 GB/T 1.1-2020 给出的规则起草。 本标准由甘肃省科学院传感技术研究所提出并起草。 本标准主要起草人：高晓平，史鑫，宋玉哲，强进，谭稀，韩根亮。 本标准于2020年05月01 日首次发布并实施。 I Q/IST-GMR-01—2020 IST-GMR-01 磁传感器 1 范围 本标准规定了磁传感器的产品分类、规格型号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运 输、贮存。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准。然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究 可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T 191-2008 包装储运图示标志 GB/T 2423.1-2008 电工电子产品环境试验 第 2 部分：试验方法 试验 A ：低温 GB/T 2423.2-2008 电工电子产品环境试验 第 2 部分：试验方法 试验 B ：高温 GB/T 2423.3 环境试验 第 2 部分：试验方法 试验 Cab：恒定湿热试验 GB/T 2423.22 环境试验 第 2 部分：试验方法 试验 N ：温度变化 GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定 直排四探针法 SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备，设备的定制、使用规范 3 分类与型号 3.1 原辅料 IST-GMR-01 为一款基于巨磁阻效应(GMR)的磁传感器。GMR 磁传感器的核心部件是自旋阀，自 旋阀为一种多层膜结构，其磁电阻率和灵敏度直接影响着传感器的性能，传感器的性能与自旋阀的结构 及制备工艺密切相关，其具体结构如图 1 所示。磁传感器将四个巨磁电阻(GMR)构成惠斯通电桥结构， 具体结构如图二所示。该结构可以减少外界环境对传感器输出稳定的影响，增加传感器的灵敏度。工作 时电流输入端接 5V~20V 稳压电源，输出端在外磁场作用下输出电压信号。 1 Q/IST-GMR-01—2020