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- 2020-07-28 发布于四川
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- | 2013-05-09 颁布
- | 2014-02-01 实施
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ICS29.045
H 82
中华人 民共和 国国家标准
/ —
GBT29504 2013
300mm硅单晶
300mmmonocrstallinesilicon
y
国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页
2013-05-09发布 2014-02-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发 布
中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
/ —
GBT29504 2013
前 言
本标准按照 / — 给出的规则起草。
GBT1.1 2009
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会( / )提出并归口。
SACTC203
: 、 、
本标准起草单位 有研半导体材料股份有限公司 中国有色金属工业标准计量质量研究所 万向硅
、 。
峰电子股份有限公司 宁波立立电子股份有限公司
: 、 、 、 、 、 、 。
本标准主要起草人 闫志瑞 孙燕 卢立延 张果虎 楼春兰 刘培东 向磊
国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页
Ⅰ
/ —
GBT29504 2013
300mm硅单晶
1 范围
、 、 、 · · 、
本标准规定了直径 300mm p型 100晶向 电阻率 0.5Ω cm~20Ω cm硅单晶的技术要求
、 、 、 、 。
试验方法 检验规则以及标志 包装 运输 贮存等
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