第三章 薄膜材料的表征方法.ppt

第三章 薄膜材料的表征方法 ;;;;;;常用薄膜厚度测量方法;;;;图1 　光波在单层膜上的反射与透射;;膜厚d 的计算;图3-1 椭偏法测量y和Δ的原理图 ;设备名称：NKD-7000W光学薄膜分析系统 (NKD－7000w System Spectrophotometer);;;;;;3.2 薄膜结构的表征 ;3.2.1 扫描电子显微镜（SEM）分析;图3－2 电子束与表面原子相互作用图 ;;所用信号;3.2.2 原子力显微镜（AFM）分析;;;3.2.3 X射线衍射（XRD）分析;;图3-3 X射线衍射仪原理图 ;;3.3 红外光谱（IR）分析 ;;;;;;3.3 傅立叶变换红外光谱（FTIR）分析 ;傅立叶变换红外光谱仪原理图;付里叶变换红外光谱仪 ;;;3.4 激光拉曼光谱分析;;;分子散射的能级图 ;;;;;;;图1 　in Via 激光显微共焦拉曼光谱系统;3.5 薄膜成分的分析;;;图3－4 电子同固体表面相互作用图示;;;表3.3 各种薄膜成分分析方法的特点;;;;X射线电子能谱激发源：X射线管;结合能值各不相同，而且各元素之间相差很大，容易识别（从锂的55电子伏增加到氟的694电子伏），因此,通过考查1s的结合能可以鉴定样品中的化学元素。;二、X射线光电子能谱分析法 X-ray photoelectron spectroscopy ;1