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中子反射谱仪、原理及其应用简介 李新喜 中国工程物理研究院 核物理与化学研究所 ＆中子物理学重点实验室 2019/7/27 中物院研究生院中子散射夏令营活动 Outline 1 中子反射技术原理简介 2 中子反射谱仪介绍 3 中子反射主要应用 4 小结 Page2/28 中子散射技术是一种重要的材料表征手段！ 一、中子反射技术原理简介 Specular Off-Specular 薄膜（单层、多层）微观结构（纳 Neutron 米尺度）的显微镜！ 历 史 回 顾  中子反射（Neutron Reflection, NR ）是十分重要的散射技术 之一, 其发展可以追溯到光反射。  早在1675年，Newton就认识到，平行白光照射到薄膜上，反 射光的颜色可以测量薄膜厚度。  20世纪20年代，Compton实验证明，X射线和光学反射遵循相 同的规律，只是折射指数不同而已。 历 史 回 顾 1944年，Fermi和Zinn第一次证实了中子镜面反射，表明中子反射与光学 反射遵循相同的基本公式，只是折射指数不同。 自二十世纪八十年代以来，随着强中子源的使用，中子反射技术得到了 迅速的发展。 随着薄膜及多层介质材料在基础研究和应用技术领域中重要性的增长以 及由于粗糙度在表面与界面特性中的重要作用等。 中子反射的发展历程 基本原理—— 中子反射 基本原理—— 中子反射 1 1 d=10nm roughness(nm) d=25nm 0.1 sigma=0 0.1 sigma=2 d=100nm 0.01 sigma=4 substrate sigma=6 0.01