ESD静电防护基础技术.ppt

控制静电的 生成环境 防止人体带电 工艺控制措施 5、防止产生静电的措施 防静电材料的选用 1） 湿度控制。 在不导致器材或产品腐蚀生锈或其他危害限定条件下，尽量 加大湿度 2 ）温度控制。 在可能条件下尽量降低温度，包括环境温度和物体接触温度 3）地板、桌椅面料和工作台等应由防静电材料制成，并正确接 地 4 ）静电敏感产品的运送传递和存储及包装与拆包装应采取静电 防护措施 控制静电的生成环境 控制静电的生成环境 A、 防静电工作区域的环境温湿度控制要求： ⑴ 特级/一级EPA区域温度和湿度控制要求： 温度：10~30℃ 相对湿度(RH)：45~75% ⑵ 二级EPA区域温度和湿度控制要求： 温度：10~30℃ 相对湿度(RH)：30~75% 控制静电的生成环境 B、 防静电工作区的建立： ⑴ 选用静电导体材料构成的地面，如果是普通地面可在其上铺设防静电地垫，并实施有效的接地；并划分EPA静电防护区域。 ⑵ 对设备，静电垫必须进行可靠接地，半成品包装采用防静电屏蔽，如使用防静电EPE袋、使用内层为铝箔的包装袋，以防止接近有电物体时产品感应上静电； 防止人体带电 1、人体实施的防静电方法： 1）、佩戴防静电腕带 2）、穿戴防静电服装、衣、帽 3）、佩戴防静电手套、指套 4）、进行离子化 防止人体带电 2、消除人体静电 消除人体静电积累的有效方法是将人体接地，即减少人体的对 地电阻， 使人体电位不超过规定 的安全值，减少人体对地电阻的基 本方法是穿防静电鞋和铺设防静电垫。 1）工作桌面，地面铺设防静电垫； 2）穿防静电衣、防静电鞋、戴测试OK的静电环，使用良好防静电垫，静电环到地之间串一个1MΩ 限 流电阻（作业过程中双脚必须着地）； 3） 2KV作为人体静电电击的门限电压，限流电阻的选择应保证通过人体的电流小于 5 MA，则限流电阻的限值取 1MΩ ，这样可以避免静电电击和人体触及动力电源电击。 防静电材料选用 使用静电导体材料和低电阻耗散材料 A、使用表面电阻率106－109ohm/m2之间的材料，这种材料对产生的静电易安全释放，如绿色防静电台垫。 防静电材料选用 使用静电导体材料和低电阻耗散材料 B、对表面电阻率高的材料，现在工业中将其在制造过程中加入像碳这样的导电颗粒，以减少其表面电阻率到103－105ohm/m2，如我们使用的黑色防静电元件盒、托盘、周转箱、黑色静色垫等，这种材料在生产中即会产生静电，也可以将其接触的物品上的静电安全释放。 防静电材料选用 使用静电导体材料和低电阻耗散材料 C、我们使用的绿色静电垫和防静电流水线皮带，就由两层构成，绿色层为绝缘层，背面黑色或中间夹层为导体层，经过科学试验，在这种合格材料上工作，产生静电量最小； 防静电材料选用 以物质的抗导电性来区分材质： – 导电性 (Conductive)材质： 表面电阻系数在 105Ω /square 以下； – 静电衰减性(Static Dissipative)材质： 表面电阻系数介于106 ~ 109Ω /square ； – 抗静电性(Anti-Static)材质： 表面电阻系数介于109 ~ 1012 Ω /square ； – 绝缘体 (Insulator)材质： 表面电阻系数介于 1012 Ω /square以上。 1、制定并实施防静电操作程序 2、使用防静电周转运输盘、盒、箱及其他容器、小推车 3、使用防静电工具（烙铁、吸银器等） 4、采用防静电包装 工艺控制措施 工艺控制措施 工艺规程 静电防护的基本原则： SSD意思指静电敏感器件， 是英文 “STATICSENSITITY DEVICE” 的缩写。 SSD 工艺控制措施 工艺规程 a、所有SSD及其部件的操作都必须在静电安全工作台上进行； b、在进行操作前检查是否做好静电防护措施； c、贮存、运输SSD及其部件时，应妥善进行防静电包装。 SSD a、在防静电区域的明显位置应安置防静电警示标志，如： 图一 图二 图三 工艺规程 b、为提高人员的防静电意识，防止因标识不清发生不符合静电安全的操作与静电危害，要求防静电区域（EPA或ECA）、防静电设施、器材等防静电物品，以及静电敏感器