Silvaco TCAD 器件仿真演示幻灯片.pptVIP

2020/4/22 1 Silvaco TCAD 器件仿真（三） Tang shaohua, SCU E-Mail: shaohuachn@126.com shaohuachn@ 2020/4/22 2 这一讲主要内容 ? 材料特性设置 ? 物理模型设置 ? 特性获取 ? 结果分析 ? 从例子 hemtex01.in 看整个流程 2020/4/22 3 材料参数 ? 状态 Material ，设置材料参数 ? 材料参数和物理模型的选取有关，常用的 参数及说明如下： 2020/4/22 4 材料参数 2020/4/22 5 材料参数 2020/4/22 6 材料参数 2020/4/22 7 能带参数 ? 能带结构示意图 1 2 2 1 ( ) b m s Ec Ec Eg Eg align ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 能带不连续参数 align 的说明 要在结构文件中查看能带，需添加语句 Output con.band val.band band.para 2020/4/22 8 材料参数例子 material material=InGaAs align=0.36 eg300=0.75 nc300=2.1e17 \ nv300=7.7e18 copt=9.6e-11 material material=InP affinity=4.4