薄膜太阳能电池中反压修复.ppt

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图 Hanergy confidential 反压修复知识 广东汉能光伏有限公司 图 Hanergy confidential 目录 1.工艺原理 2.设备结构 3.生产操作 广东汉能光伏有限公司 图 Hanergy confidential 反压原因 电池结构 流 图4薄膜太阳能电池激光划线后的剖面结构 广东汉能光伏有限公司 图 Hanergy confidential 反压原因 等效电路图 series resistance Current shunt 漏电阻等 串联电阻:膜层 电阻、接触电阻 R lD 图7工艺缺陷形成了导电旁路 广东汉能光伏有限公司 图 Hanergy confidential 反压原因 今反压原因 Metal on the sidewall Zno filled 图5由于基板杂质颛粒造成的膜层贯孔 图6激光刻线三后形成的侧壁金属残余物 广东汉能光伏有限公司

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