传感器 课件第4章电感式传感器.ppt

应用 第4章 电感式传感器 应用 第4章 电感式传感器 粗糙度仪外形 金刚石测头 本章要点： 变磁阻式传感器（自感式）工作原理、测 量电路（转换电路）； 差动变压器式传感器（互感式）工作原理、 等效电路及测量电路； 零点残余电压的影响和补偿； 电涡流传感器的工作原理及应用. 传感器原理及应用 第4章? 电感式传感器 本章要点： 差动变压器做位移测量可得到比例于机械位移的交 流电压； 关于磁场、磁通、磁性体； 差动变压器的应用例—差压传感器、位移传感器、 流量传感器； 电涡流传感器: 传感器原理及应用 第4章? 电感式传感器 结构和基本原理 4.3 电涡流式传感器 高频反射式电涡流传感器 ie d M ～ Φe Φｉ 电涡流传感器原理图 高频激励信号使线圈产生一个高频交变磁场φi，当被测导体靠近时，在磁场作用范围的导体表层产生电涡流ie，而电涡流又将产生一交变磁场φe阻碍外磁场的变化。在被测导体内存在着电涡流损耗（当频率较高时，忽略磁损耗）。能量损耗使传感器的Q值和等效阻抗Z降低，因此当被测体与传感器间的距离d改变时，传感器的Q值和等效阻抗Z、电感L均发生变化，于是把位移量转换成电量。这便是电涡流传感器的基本原理。 低频透射式电涡流传感器 发射线圈L1和接收线圈L2分置于被测金属板的上下方。 低频透射式电涡流传感器 由于低频磁场集肤效应小，渗透深，当低频(音频范围)电压u1加到线圈L1的两端后，所产生磁力线的一部分透过金属板,使线圈L2产生感应电动势u2。 导体电阻率ρ、磁导率μ 线圈激励电流的频率f 由于涡流消耗部分磁场能量，使感应电动势u2减少，当金属板越厚时，损耗的能量越大，输出电动势u2越小。 低频透射式电涡流传感器 因此，u2的大小与金属板的厚度及材料的性质有关.试验表明u2随材料厚度h的增加按负指数规律减少,因此，若金属板材料的性质一定，则利用u2的变化即可测厚度。 δ——被测金属板的厚度； h——贯穿深度。 低频透射式电涡流传感器 δ——被测金属板的厚度； h——贯穿深度。 测量厚度时，激励频率应选得较低。频率太高，贯穿深度小于被测厚度，不利于进行厚度测量，通常选激励频率为1kHz左右。 δ和h大小尽可能接近 低频透射式电涡流传感器 δ——被测金属板的厚度； h——贯穿深度。 测薄金属板时，频率一般应略高些，测厚金属板时，频率应低些。在测量电阻率ρ较小的材料时，应选较低的频率（如500Hz），测量ρ较大的材料时，应选用较高的频率（如2kHz），从而保证在测量不同材料时能得到较好的线性和灵敏度。 M R1 L2 L1 R2 电涡流传感器转换电路的作用就是将Z、L或Q转换为电压或电流的变化。阻抗Z的转换电路一般用电桥，电感L的转换电路一般用谐振电路，又可以分为调幅法和调频法两种。 测量电路 4.3 电涡流式传感器 1. 交流电桥 将传感器线圈的阻抗变化转化为电压或电流的变化。图中L1 、L2是两个差动传感器线圈，它们与电容C1 、C2的并联阻抗Z1 、Z2作为电桥的两个桥臂. U0 交流电桥测量电路 L1 振荡器 R1 R2 C2 ~ C1 L2 检波 放大 测量电路 4.3 电涡流式传感器 2. 调幅式电路 调幅式测量电路原理框图 晶体振荡器 L C 输出 放大 检波 滤波 R 涡流传感器线圈与电容并联组成LC并联谐振回路，由恒流源石英晶体振荡器供电。没有被测物体时，并联谐振回路的谐振频率等于激励振荡器的频率f0，此时LC并联回路呈现阻抗最大。 谐振回路上输出电压U0为：U0 = I0·Z 测量电路 4.3 电涡流式传感器 3. 调频式电路 测量电路 4.3 电涡流式传感器 L为电涡流线圈 应用 4.3 电涡流式传感器 电涡流传感器的应用 电涡流传感器目前主要应用于测位移、振动、 转速、测厚度、电涡流探伤。 特点：做非接触式测量。 应用 （1）测厚 ：低频透射式涡流厚度传感器 高频反射式涡流厚度传感器 （2）测转速 （3）测振动 （4）电涡流探伤 应用 4.3 电涡流式传感器 电涡流传感器 应用 4.3 电涡流式传感器 低频透射式涡流厚度传感器 应用 4.3 电涡流式传感器 高频反射式涡流厚度传感器 应用 4.3 电涡流式传感器 涡流转速测量 涡流振动测量 应用 4.3 电涡流式传感器 应用 第4章 电感式传感器 加速度传感器 1 悬臂梁；2 差动变压器；3 衔铁 1 2 a 3 应用 第4章 电感式传感器 位移测量 振幅测量 转速测量 应用 第4章 电感式传感器 应用 第4章 电感式传感器 电感测微仪 探头 测量 电桥 交流 放大 相敏 检波 指示器 振荡器 应用 第4章 电感式传感器 变气隙式电