精密加和光整加工.ppt

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精密加工和光整加工简介 先进加工方法包括两类,一类是非传统加工方法 (Non- tradation Machine),也称“现代加工方法”或 “特种加工工艺”。另一类是传统加工技术的进一步发展 这里称之为精密加工和光整加工 精密加工工艺主要有精密切削加工和精密磨削加工两 大类。 光整加工工艺一般是指仅能获得很低表面粗糙度和高 表面质量的一些加工方法,如珩磨、研磨、超精研和无屑 加工等(当然,这种提法只是指一般情况,某些研磨和珩 磨加工方法在一定条件下也可用以提高某些方面的加工精 度) 通常,加工精度由光整加工前的各工序保证。 超精密加工的设备和环境条件 从上述讨论可知,无论超精切削或超精磨削,最核心的问题 是切除微米级以下的微薄金属层的问题,这对机床设备和环 境条件来讲,都需要作一系列相应的考虑,采取相应的措施才 能保证切除如此微薄的金属层。现就这两个方面的问题,作如 的讨论: 机床设备 为适应超精密加工微量切削的需要,在机床设备方面要特别 注意以下几点 1.机床的微量进给装置一般精密机床,其机械的或液压 的微量进给机构很难达到1pm以下的微量进给的要求。目前在 进行超精密加工时,常采用利用弹性变形、热变形或压电晶体 变形的机构作微量切入的进给。 2.主轴部件的高回转精度无论切削还是磨削,在切除微米 级以下的微薄余量时,其主轴回转精度的影响是非常明显的, 这里不予多论了。对一台超精密切削用的车床来说,其主轴 的径向和轴向的跳动量应小于0.12~0.15μm。这样高的回转 精度,目前常靠液压的或空气的静压轴承来解决。下图是 个应用空气静压轴承的示例,它是一个超精密镗头的主轴部 森征“ 了下]度 拒 图926空气静压轴承支承的商精度主轴 一压力空气进门2一轴3璋面4一压力空气进囗5一球轴承体6一主精箱7{柱轴承 3.工作台应具有很好的低速运行特性超精切削。 超精切削加工时的进给量或镜面磨削时金刚石修整工 具的进给量都很小。显然,工作台在低速的运行,如无适 当的措施,很易产生爬行,而在超精密切削和修整砂轮时 是决不容许出现爬行的 防止爬行的措施与一般精密机床上采用的基本上相同, 其主要的措施是选用防爬行导轨油、采用聚四氟乙烯导轨 面粘敷板、采用液体静压导轨和调整好液压传动系统等。 4.机床还应有较高的抗振性能和热稳定性能 环境条件 超精密加工还应高度重视隔振、防振、隔热、恒温以及防尘 等环境条件问题 图927所示是一种隔 离外部振动的隔振方 剡线机工作部位 恒温坡螭罩 法。从图可以看出, 机床(一台精密刻线机) 和油槽都安装在工字 气垫弹簧 油 钢和混凝土防振床上 实验至地面 而整个防振床包括机 防振床 床由四个气垫弹簧支 承着。气垫支承中充 满着由气泵提供的、 压强为49N/cm的氮 图927精密刻线机的隔振和恒温

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