TOF-SIMS分析技术及其应用.pdfVIP

TOF-SIMS分析技术及其应用 清华大学分析中心 李展平 Tel: 6278-3586 zhanpingli@mail.Tsinghua.edu.cn 2020. 04. 20 主要内容： 1）TOF-SIMS 的特点、发展及背景 2 ）TOF-SIMS 的基本原理、仪器结构与功能 3 ）TOF-SIMS 的应用 TOF-SIMS分析技术 Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry ToF-SIMS or TOF-SIMS TOF-SIMS分析技术对现代科技发展的重要性 1）TOF-SIMS一直是近代表面科学及表面分 析技术发展的重要组成之一。 2）在无机半导体及光电器件研发中，它与 俄歇电子谱 (AES)信息互补; 在表面物 理化学研究中，它与光电子谱(PES- XPS/UPS)信息互补。 3）AES/PES只能提供原子结构信息，而唯 有TOF-SIMS才能提表面分子结构信息。 分析技术 泡泡图 TOF-SIMS 特点与XPS、AES 比较 TOF-SIMS具有以下几个特点： 1）能检测出包括氢在内的所有元素及其同位素， XPS、AES不能检测H，且不能分辨出元素的同位素。 2）对所有元素具有ppm～ppb(因元素而异)的检测灵敏度， XPS、AES的检测极限为0.1%～0.01%。 3）能测定从表面到深至数十 μm的微量元素及化合物浓度布， AES只能分析元素，XPS最多只能分析元素的化学状态的深 度分布。并且检测极限在0.1%。 4）能观测各种元素及化合物的二维以及三维的分布， AES、XPS不能观察三维分布。 5）能鉴定有机化合物分子， AES不能鉴定、XPS只能鉴定到元素的化学状态 （价态）。 TOF-SIMS 在分析技术中的节点 分析技术 体相 表面 构造 形态 组成 电子状态 波谱 光谱 能谱 质谱 同位素质谱 有机质谱 无机质谱 二次离子质谱（SIMS） D-SIMS S-SIMS TOF-SIMS 为什么能实现表面分析？ … 一次束与二次（次级）产物 一次束 hν 次级（二次）产物 + + 离子 (Ga , Ar etc.) e ± hν e 中性粒子 带电粒子