《集成电路晶圆制造能耗限额》编制说明-上海地方标准.pdf

上海市地方标准《集成电路晶圆制造能耗限额》 标准编制说明 一、工作简介 （一）任务来源 本标准任务由上海市质量技术监督局于 2017 年 7 月 28 日下达，根据 沪质技监标〔 2017〕332 号文，上海市地方标准《集成电路晶圆制造能耗限 额》列入 2017 年上海市第二批（节能减排类）地方标准制修订项目计划第 34 项。 （二）产业基本情况 集成电路产业作为国民经济和社会发展的战略性、基础性和先导性产 业，是培育战略性新兴产业、发展信息经济的重要支持，关乎国家核心竞 争力和国家安全，其在信息技术领域的核心地位十分重要。上海集成电路 产业是国内集成电路产业集聚度最高，产业链最为完整，创新能力最强， 综合技术水平最高的地区之一，为国内集成电路产业发展起到了引领和示 范的作用。上海集成电路行业在全国率先开展集成电路制造、封装能耗限 额标准的制定与实施，对稳定和提高本市集成电路制造、封装企业的运营 质量，推动和引领全国集成电路制造业的节能降耗、控制成本，具有深远 的意义。 地方标准《集成电路晶圆制造能耗限额》主要适用于我市集成电路芯 片制造业。我市集成电路芯片制造业 2017 年的营收总额占全行业比重约为 24% ，这类企业也是集成电路行业中能耗最大的，主要包括中芯国际集成 电路制造（上海）有限公司、上海华力微电子有限公司、上海华虹宏力半 导体制造有限公司、台积电（中国）有限公司、上海先进半导体制造股份 有限公司、上海新进半导体制造有限公司等。 2010 年制定该标准时，我市 集成电路芯片制造企业主要以 6 英寸、 8 英寸生产线为主，而目前我市集 成电路制造生产线中， 12 英寸正在运行的有 2 条、在建的有 3 条； 8 英寸 正在运行的有 8 条、在建的有 1 条， 6 英寸正在运行的有 3 条。原标准已 不适用目前的情况，依据实际情况分别设置 12 英寸、 8 英寸、 6 英寸晶圆 生产线的单位产品能耗限额，是本次修订标准的主要工作。随着技术水平 更高、工艺更复杂的芯片不断导入生产线， 单位产品的能耗将会逐步增加， 因此本标准将根据产业发展情况不断修订，不断完善。 本次修改后的能耗 标准，仍将覆盖我市集成电路晶圆制造业所有企业， 这些企业 2017 年晶圆 生产总能耗接近 30 万吨标准煤。 （三）预期的社会经济效果 通过调查、测算和不断优化，确定了我市集成电路晶圆制造行业的能 耗限额，一是约束了行业内各晶圆制造企业能耗管理，通过不断的技术改 造和管理优化将企业总体能耗水平控制在标准允许的范围内，特别是随着 企业运行、设备逐步老化，鞭策企业始终将严格执行能耗标准作为节能降 耗的动力之一。二是该标准作为企业新进入晶圆制造行业的能耗技术门槛， 要求企业在建立时就把采用新技术、新工艺、新方法作为初创企业必须要 考虑的因素之一，提高企业的低能耗技术定位，以整体提高我市集成电路 产业的节能降耗水平。总之，集成电路晶圆制造能耗限额标准的制订，将 推动我市集成电路晶圆制造行业的能耗管理在全国处于领先水平，实现较 好的社会经济效果。 （四）起草单位 上海市集成电路行业协会、上海市能效中心、中芯国际集成电路制造 （上海）有限公司、上海华力微电子有限公司、上海华虹宏力半导体制造 有限公司、 台积电 （中国）有限公司、 上海先进半导体制造股份有限公司、 上海新进半导体制造有限公司等。 （五）主要工作过程 上海市集成电路行业协会接获市质技监督局下达的任务后，即着手成 立《集成电路晶圆制造能耗限额》标准起草组，标准起草工作由上海市集 成电路行业协会、上海市能效中心、中芯国际集成电路制造（上海）有限 公司、上海华力微电子有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司、台 积电（中国）有限公司等单