表面处理之化学镀镍规范及制程讲解.ppt

Time to Market Time to Volume Time to Money M M ODULE M MOVE S S ERVICE Confidential Your Best Partner for SEMI/FPD Equipment Contract Manufacturing Service C COMPONENT 1 Print Date: 2020 年 5 月 6 日星期三 Foxsemicon Integrated Technology Inc. 表面處理之化學鍍鎳規范及制程講解 FITI-SJ-STD 报告人 : 储彬 CONFIDENTIAL Presenter: Quality Assurance Print Date: 2020 年 5 月 6 日 Foxsemicon Integrated Technology Inc. 2 1. 化學鍍鎳之基礎知識和應用簡介 2. 化學鍍鎳原理介紹 3. 化學鍍鎳各規范介紹 4. 各規范不同處介紹 5. 表處化學鎳制程介紹 6. 化學鍍鎳常見問題及預防措施 Summary CONFIDENTIAL Presenter: Quality Assurance Print Date: 2020 年 5 月 6 日 Foxsemicon Integrated Technology Inc. 3 ENP 基礎知識介紹 ? 化学镀镍的特点与发展简史 ? 化学镀镍的历史与电镀相比，比较短暂，在国外其真正应用到工业仅 仅是 70 年代末 80 年代初的事。 1844 年， A.Wurtz 发现金属镍可以从金 属镍盐的水溶液中被次磷酸盐还原而沉积出来。化学镀镍技术的真正 发现并使它应用至今是在 1944 年，美国国家标准局的 A.Brenner 和 G.Riddell 的发现，弄清楚了形成涂层的催化特性，发现了沉积非粉末 状镍的方法，使化学镀镍技术工业应用有了可能性。但那时的化学镀 镍溶液极不稳定，因此严格意义上讲没有实际价值。 化学镀镍工艺 的应用比实验室研究成果晚了近十年。第二次世界大战以后，美国通 用运输公司对这种工艺发生了兴趣，他们想在运输烧碱筒的内表面镀 镍，而普通的电镀方法无法实现，五年后他们研究了发展了化学镀镍 磷合金的技术、公布了许多专利。 1955 年造成了他们的第一条试验生 产线，并制成了商业性有用的化学镀镍溶液，这种化学镀镍溶液的商 业名称为“ Kanigen” 。 CONFIDENTIAL Presenter: Quality Assurance Print Date: 2020 年 5 月 6 日 Foxsemicon Integrated Technology Inc. 4 ENP 處理簡介 ENP （ 無電化鎳 ） ? 化学镀镍的工业应用 ? 由于化学镀镍层具有优秀的均匀性、硬度、耐磨和耐蚀性等综合物理 化学性能，该项技术已经得到广泛应用，目前几乎难以找到一个工业 不采用化学镀镍技术。据报道，化学镀镍在各个工业中应用的比例大 致如下：航空航天工业： 9% ，汽车工业： 5% ，电子计算机工业： 15% ，食品工业： 5% ，机械工业： 15% ，核工业： 2% ，石油工业： 10% ，塑料工业： 5% ，电力输送工业： 3% ，印刷工业： 3% ，泵制 造业： 5% ，阀门制造业： 17% ，其他： 6% 。世界工业化国家的化学 镀镍的应用经历了 80 年代空前的发展，平均年净增速率高达 10% ～ 15% ；预计化学镀镍的应用将会持续发展，平均年净值速率将降低至 6% 左右，而进入发展成熟期。在经济蓬勃发展的东亚和东南地区， 包括中国在内，化学镀应用正在上升阶段，预期仍将保持空前的高速 发展。 CONFIDENTIAL Presenter: Quality Assurance Print Date: 2020 年 5 月 6 日 Foxsemicon Integrated Technology Inc. 5 化學鎳配方及反應方程式 主成份 : ? (1) 硫酸鎳 (2) 次磷酸二氫鈉 (3) 絡合劑 (4)pH 調整劑（ 氨水 、氫氧化鈉） 5) 添加劑 作用 : (1) 提拱鎳離子 (2) 使鎳離子還原為金屬鎳 (3) 形成鎳絡合離子，防止氫 氧化鎳及亞磷鎳生成，增加槽液安定性， pH 緩衝 (4) 維持適當 pH(5) 防 止鎳在膠體粒子或其它微粒子還原 (6) 增加被鍍物表面的負電位，使啟 鍍容易，改善還原效率。 反應式 :3NaH2PO4+3H2O+NiSO4→3NaH2PO4+H2SO4+2H2+Ni 2H2PO2- +Ni+++2H2O→2H2PO3 -+H2+2H++Ni Ni+++H2PO2- +H2O→Ni+H2P