MEMS加速度传感器讲义.pptVIP

资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加速度传感器 MEMS加速度传感器 * 2020年08月13日 压阻式加速度传感器 Group 3 工艺流程 （j）随后通过梁结构中间层与上下层连接 （K）控制480度的粘接温度随后在1100度下保存一小时。 MEMS加速度传感器 * 2020年08月13日 其他类型的加速度传感器 光波导式 新 微谐振式 谐振式加速度传感器是一种典型的微机械惯性器件，基本工作原理是利用振梁的力频特性，通过检测谐振频率变化量获取输入的加速度。 新 热对流式 微型热对流加速度计是利用封闭空气囊内的自由热对流对加速度敏感性。两个温度传感器对称地在有气体的腔体两侧，中间有一个热源。 新 Group 3 目前广泛应用制备光学加速度计的迈克尔逊、马赫—曾德等干涉仪的核心部件都包含3 dB耦合器。 压电式 压电式加速度传感器是利用某些物质如石英晶体的压电效应，在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也随之变化。 成熟 MEMS加速度传感器 * 2020年08月13日 其他类型加速度传感器 1.光波导加速度计 光波导加速度计的原理如下图所示：光源从波导1进入，经过分束部分后分成两部分分别通入波导4和波导2，进入波导4的一束直接被探测器2探测，而进入波导2的一束会经过一段微小的间隙后进入波导3，最终被探测器1探测到。有加速度时，质量块会使得波导2弯曲，进而导至其与波导3的正对面积减小，使探测器1探测到的光减弱。通过比较两个探测器检测到的信号即可求得加速度 Group 3 MEMS加速度传感器 * 2020年08月13日 其他类型加速度传感器 2.谐振式加速度计 谐振式加速度计，Silicon Oscillating Accelerometer，简称SOA。一根琴弦绷紧程度不同时弹奏出的声音频率也不同，谐振式加速度计的原理与此相同。若对梁施加一确定的激振，检测其响应就可测出其固有频率，进而测出加速度。激振的施加和响应的检测通常都是通过梳齿机构实现的。SOA的特点在于，它是通过改变二阶系统本身的特性来反映加速度的变化的，这区别与电容式、压电式和光波导式的加速度计。SOA常见的结构有S结构和双端固定音叉（Double-ended Tuning Fork，DETF）两种。S结构原理图如下图所示，DEFT式就是在质量块的另一半加上和左边对称的一套机构 Group 3 MEMS加速度传感器 * 2020年08月13日 其他类型加速度传感器 3.热对流加速度计 一个被放置在芯片中央的热源在一个空腔中产生一个悬浮的热气团，同时由铝和多晶硅组成的热电偶组被等距离对称地放置在热源的四个方向。在未受到加速度或水平放置时，温度的下降陡度是以热源为中心完全对称的。此时所有四个热电偶组因感应温度而产生的电压是相同的。 Group 3 MEMS加速度传感器 * 2020年08月13日 其他类型加速度传感器 4.压电式加速度计 压电式加速度计利用了压电效应，通过测量压电材料两级的电势差即可求得其形变压电原理在宏观尺度的加速度计中应用颇为广泛，这类加速度计的构造多为基座和质量块之间夹一压阻材料。 Group 3 MEMS压电式加速度计 MEMS压电式加速度计采用的结构与压阻式微加速度计类似,都是悬臂梁末端加质量块的震动系统，二者差别在于镀在梁上的材料不同，压电式加速度计自然只要镀上压电材料，而非压阻材料。 MEMS加速度传感器 2020年08月13日 * [ THAT’S ALL] MEMS 资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加速度传感器 资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加速度传感器 资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加速度传感器 资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加速度传感器 资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加速度传感器 资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加速度传感器 资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加速度传感器 资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加速度传感器 资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加速度传感器 资料仅可参考，如有不妥，请联系本人改正或者删除。 * 2020年08月13日 MEMS加