电子工业用气体氨编制说明.pdfVIP

《电子特气 氨》 国家标准征求意见稿 编制说明 标准起草工作组 2020 年 4 月 一、工作简况 （一）任务来源 氨在常温常压下是一种易燃、有腐蚀性、有毒的气体。氨是一种重要的电子气体，也 是一种重要的工业基础材料，广泛应用于半导体产业的集成电路 IC、液晶显示器 LCD 、 半导体发光器件 LED 以及太阳能电池 PV 等行业。 近年来，随着全球石油等能源资源逐渐 减少，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，重点关注低碳经济。在此背景之下，我 国的光伏产业得到了迅猛发展。 在生产制造太阳能电池及 LED 芯片过程中， 都需要用到大 量的超纯氨作为氮源，因此，重新修订电子工业用氨的国家标准是我们必须要进行的一项 具有深远意义的重要工作。 随着用户对太阳能电池发光效率和 LED 亮度要求越来越高， 对作为氮源的超纯氨气的 纯度要求也越来越高， 2009 版国标中的产品纯度已经不能满足市场和技术的需求。 为适应 市场需求，促进我国氨产业和电子工业更快的发展，并提高其国际竞争力，急需修订 2009 版的国家标准。根据国标委综合〔 2019〕22 号文，国家标准化管理委员会于 2019 年下达 了修订计划号：T-469 。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出，由于标准计划下达时只能下 到总会，因此计划上是由总会归口。但是实际本标准修订工作是由气体分会组织并归口。 本标准起草单位：。 （二）工作过程的说明 2019 年国家标准化管理委员会下达了“ 2019 年第二批国家标准制修订计划”（国标 委综合〔 2019〕22 号），《电子工业用气体 氨》正式立项，标准由全国半导体设备和材 料标准化技术委员气体分会归口。为保证项目顺利实施，全国半导体设备和材料标准化技 术委员气体分会组织苏州金宏气体股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、大 连保税区科利德化工科技开发有限公司、福建久策气体集团有限公司、海宁市英德赛电子 有限公司、浙江建业化工股份有限公司、广东华特气体股份有限公司、上海华爱色谱分析 技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试技术研究院、联雄投资（上海） 有限公司、上海飞择科技有限公司、西南化工研究设计院有限公司等相关单位做了大量的 前期调研及草案起草工作。 标准起草小组首先开始搜集相关的资料， 国际半导体设备与材料组织 （SEMI ）制定的 2 国际工业标准中，现行氨标准是： SEMIC3.12-1102 《瓶装氨标准，纯度 99.998%》，由于 该标准纯度偏低，起草小组未采用。起草小组对国际、国内电子氨产品生产情况进行了深 入调研和分析，将国外产品的技术标准和国内实际生产情况相结合，于 2019 年 10 月份提 出了标准的草案，提交 2019 年年会讨论。针对修改意见，起草小组提出了讨论稿。讨论 稿技术要求见表表 4～表 6。 2019 年 12 月，标准起草小组在上海召开标准讨论会，广泛 征求企业的意见。在此次讨论会上，专家们就讨论稿的基本结构、范围、技术指标、检验 方法等进行了认真的讨论。提出了如下的意见： （1）“1 范围”：增加“本标准适用于工业氨提纯制备的高纯氨。” （2 ）“3 技术要求”：将表 1 中“烃（ C1~C3）含量”修改为 CH4 含量、非甲烷烃 含量；取消 5N5、6N4、7N 的指标分类方式，请各生产企业按照集成电路、光伏、平板显 示、 LED 等分行业、分用途梳理客户要求的技术指标；删除表