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SPUTTER 設備維護及效能改善對策實施 Think of Frequency, Think of TXC. TXC Confidential. - * - Think of Frequency, Think of TXC TXC Confidential 設備工程部 預防保養課 專案名稱：SPUTTER 設備維護效能改善專案. 設備名稱：SPUTTER MACHINE。 專案期間：98.05.至98.08.30止。 專案編號：MMQ 0909-H 。 Coach: 蘇哲明 處長 游潤 經理 Leader: 黃俊昇 Team members:周克強 陳世強 PABLO SPUTTER 設備維護效能改善專案 主題選定 實施對象：全廠 SPUTTER 設備 指 導 人：蘇哲明 處長、林佳樺 副課 執行人員：黃俊昇、周克強、陳世強、PABLO 實施日期：2009.05.10 ~ 2009.08. 參與支援軌道更換作業執行人員 PABLO (外籍) 1.軌道前置作業及參與保養執行人員 2.軌道相關部品清潔及組裝作業負責人 陳世強 1.軌道前置作業及參與保養執行人員 2.相關更換之部品送洗整理作業負責人 周克強 1.設備效能維護負責人 2.規劃排程擬定與保養執行人員 3.彙集資訊統合整理 黃俊昇 職掌分工 組 員 工作執掌 為了維護設備效能透過保養改善降低設備故障率以提升產能 目的 目標 擬定對策降低 SPUTTER 設備 Down time 設備稼動率提升 設備故障時間降低 目標設定 評估於保養課現有人力資源以執行規劃並建立有效預防保養機制 設定理由 50 %↓ 現況掌握-1( 設備 Down time ) TXC-152 TXC-720 TXC-897 改善目標 ? TARGET 1600 min ↓ 建議 2009 / 01 ~ 2009 / 04 設備 Down time 比較 現況掌握 -2( 柏拉圖分析 ) SPUTTER 故 障 原 因 分 析 TOP - 3 1.軌道傳送不順暢 ------- 2.DC POWER 短路 ------ 3.真空異常 ---------------- 4.Other ---------------------- 34% 27% 21% 18% 改善重點 Carrier變形彎曲造成請克強統計與整理 ※ 活動計劃表 改善計劃表 計劃線 實施線 特性要因圖 改善重點 已請購各部位O-RING相關備品 1.初期先檢測每台真空能力後續規劃並訂定PUMP保養週期(Regen or 委外保養) 2.定期清潔O-RING及保養 MV閥 1.PUMP抽氣效率降低造成 2.腔體外其中位置氣密性不良 1.PUMP抽真空能力不佳 2.閥門動作不良 3.O-RING不良 真空異常 1.於每次保養時更換新品預防再發生(可使用電錶檢測) 2.改善變更位置減少端子接線斷裂造成Alarm 3.要求保養工程師於每次換靶同時確認Cr區須清潔或更換 1.掛板長期使用未定期更換 2.電源端子接線設計不良(電流過高) 1.腔體內清潔度不佳(Particle) 2.電源端子接線接觸不良 DC POWER短路問題 已請購軌道相關部品… 1.擬定軌道定期保養計劃(傳動機構點檢改善) 2.載治具統整與變更設計改善 1.傳動機構未定期更換與部品不足需請購新品… 2.載治具變形造成軌道傳送卡片 1.傳動機構不良(培林不順) 2.載治具不良 (設計不佳) 軌道傳送不順 備註 對策實施 現況 原因 問題 對策擬定與實施 進度執行 全廠 SPUTTER 保養改善 LIST 改善前與改善後成效 TARGET 1600 min ↓ AVERAGE 2635 min 50% 改善前 改善中 改善後 ( 效果維持 ) 標準化實施 效果確認 8/21~8/23 TXC-812 646min 於8/24換完軌道後已改善無再發生 8/24 Regen TXC-842 540min Think of Frequency, Think of TXC. TXC Confidential. - * -