现代精密仪器的设计第五章 微位移技术.pptVIP

精密仪器设计 Design of Precision Instrument  五、微位移技术  微位移技术 概述 六:其他类型微位移工作台 二:压电、电致伸缩器件 三:电磁控制的微动工作台 四:柔性铰接 五:精密工作台的设计及特性分析  概述 微位移技术发展很快。用金刚石车刀直接车削大型天文 望远镜的抛物面反射镜时,要求加工出几何精度高于1/10光 波波长的表面,即几何形状误差小于0.05m。计算机外围 设备中大容量磁鼓和磁盘的制造,为保证磁头与磁盘在工作 过程中维持1m内的浮动气隙,就必须严格控制磁盘或磁鼓 在高速回转下的跳动。特别是到20世纪70年代后期,微电子 技术向大规模集成电路(LSⅠ)和超大规模集成电路(ⅥSI 方向发展,随着集成度的提高,线条越来越微细化。256K动 态RAM线宽已缩小到1.25m左右。目前已小于0.1m,对与 之相应的工艺设备(如图形发生器、分步重复照相机、光刻 机、电子束、和ⅹ射线曝光机及其检测设备等)提出了更高的 要求,要求这些设备的定位精度为线宽的1/3~1/5,即亚微米 甚至纳米级的精度  概述 5-1亚微米级微位移技术 国家 厂家 导轨形式驱动方式行程/分辨力位移精度自由度应用设备 HP公司 滚珠 0.0080.016x,y 柔性支承压电 50m0.0 电子束曝光机 M