2019-分享课件-8-2-透镜的像差、景深和焦长.pdf

2 电磁透镜的像差 透镜像差 ——透镜在成像过程中，由于本身几何光学条件的限制， 导致图像产生变形及模糊不清的现象称为透镜像差。 材料研究方法——第8章 电子光学及电镜的结构 2 电磁透镜的像差 ——即球面像差，是由于电磁透镜的中心区域和边缘 区域对电子的折射能力不符合预定的规律而造成的。 近轴电子 像平面 Ⅰ 像平面Ⅱ 2∆ 2R s P 物镜 远轴电子 最小散焦圆斑 1 ∆ = = 3 ——是用来表示球差大小的量。减 4 小孔径角，可使球差明显减小。 材料研究方法——第8章 电子光学及电镜的结构 2 电磁透镜的像差 ——由透镜磁场的非旋转对称而引起。主要原因是极靴的加 工精度不足，导致电磁透镜在不同方向上的聚焦能力出现差别。 弱聚焦方向 像平面 Ⅰ 像平面Ⅱ 2R A 2Δr A P 最小散焦圆斑 弱 强 强 ∆ = = ∆ ——Δf 为电磁透镜出现椭 圆度时造成的焦距差。 弱 材料研究方法——第8章 电子光学及电镜的结构 2 电磁透镜的像差 ——由于入射电子波波长的非单一性而造成的。 低能电子 像平面Ⅰ 像平面Ⅱ 2R 2r c c P 短 长 焦最小散焦 焦 物镜 高能电子 点 圆斑 点 ∆ ∆ ∆ = = —— 用来表示加速电压的稳定性。 材料研究方法——第8章 电子光学及电镜的结构 2 电磁透镜的像差 衍射效应规定的分辨率：