2019-分享课件-12-3-薄膜晶体衬度分析.pdf

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4 晶体缺陷分析 4.1 实际晶体的衍射衬度 晶体中的缺陷会使晶柱发生畸变,畸变的大小和方向用缺陷 矢量R描述。理想晶柱、实际晶柱中的位置矢量分别为r、r 。 显然,r =r +R ,则相位差φ为 ′ ′ ′ 位置矢量 = 2 ∙ = 2 + + r 晶 r 晶 理想晶体晶柱底部衍射波振幅 柱 柱 未 畸 Φ = ෍− 畸 R 变 变 后 柱体 非理想晶体晶柱底部衍射波振幅 缺陷矢量 ′ Φ = ෍− z 柱体 材料研究方法材料研究方法————第三部分第三部分透射电子显微镜透射电子显微镜 4 晶体缺陷分析 4.1 实际晶体的衍射衬度 ′ Φ = ෍− −′ −2 ℎ+ + = 柱体 = −2 ℎ∙++ℎ∙+ ′ ′ ′ = 2 ∙ =−2−2ℎ∙ = 2 + + 因为 ∙等于整数, ∙数值很小且接近垂直,可以略去, 又因为s和r接近平行,故 ∙ = = Φ = ෍− 2+2ℎ∙ = ෍− + 柱体 柱体 α就是由于晶体内存在缺陷而引入的附加相位角。由此造成衍射 波振幅有差别,从而反映出晶体缺陷引起的衍射衬度。 材料研究方法材料研究方法————第三部分第三部分透射电子显微镜透射电子显微镜 4 晶体缺陷分析 4.1 实际晶体的衍射衬度 理想晶体晶柱底部衍射波振幅

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