第四章-扫描电镜简介.pdf

第13章 扫描电子显微镜 敦 第十三章 扫描电子显微镜 知 德 1 扫描电镜的特点概述； 行 励 2 样品被电子束激发出的信号； 相 学 3 扫描电镜的构造和工作原理； 长 4 扫描电镜的性能与特征； 5 表面形貌衬度； 6 原子序数衬度； 7.能谱分析简介。 材料研究方法——第13章 扫描电子显微镜 13.1 扫描电镜的特点概述 扫描电镜的成像原理和透射电镜不同。它不用电磁透镜放 大成像，而是利用细聚焦电子束在样品表面扫描时激发出来 的各种物理信号来调制成像。 材料研究方法——第13章 扫描电子显微镜 13.1 扫描电镜的特点概述 扫描电镜的特点  样品制备过程简单，最大尺寸为厘 米级，可进行三维平移和旋转。  图象富有立体感。景深比OM大几百 倍，比TEM大几十倍。  图象的放大范围广。从十几倍到几 十万倍，涵盖了放大镜、OM至TEM 的 放大范围。  电子束对样品的损伤、污染程度较小。  分辨率较高。二次电子像分辨率可达纳米级甚至埃米级。  可进行综合分析。如波普仪、能谱仪对微区进行元素分析， EBSD进行晶体取向分析等。 材料研究方法——第13章 扫描电子显微镜 13.2 样品被电子束激发出的信号 13.2.1 二次电子 二次电子 入射电子 二次电子 背散射电子 ——指在入射电子束作用下被 特征X射线 俄歇电子 轰击出来并离开样品表面的样 吸收电子 品原子的核外电子。 透射电子 二次电子的能量一般不超 过50eV ，大多数只带有几个电 二次电子对样品表面十分 子伏的能量。一般都是在表层 敏感，能有效地显示样品的表 5 ～10nm深度发射出来的。 面形貌。 材料研究方法——第13章 扫描电子显微镜 13.2 样品被电子束激发出的信号 13.2.2 背散射电子 ——被样品原子核反弹回来的入 入射电子 背散射电子 射电子，能量基本没有损失，可 二次电子 达数千到数万电子伏。 特征X射线 俄歇电子 吸收电子 入射电子 弹性