5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性.pdf

5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性  除变极距型电容传感器外，其它几种形式的电容传感 器的输入量与输出电容量之间均为线性的关系。 变极距型电容传感器的电容相对变化量为： 1 将上式可按级数展开，可得： 忽略高次项，变极距型电容传感器的灵敏度为： 考虑线性项与二次项： 结论：要提高灵敏度， 应减小起始间隙d ，但 0 非线性误差却随着d 的 0 减小而增大。 传感器的相对非线性误差为： 2 为了提高灵敏度