半导体材料绪论精析.pptVIP

半导体材料 主讲教师:李立珺 Te:029Email: liliiun007163  参考书目与教材: 《半导体材料》杨树人等(教材) 令《半导体材料》王季陶刘明登主编高教出版社 《半导体材料浅释》万群化学工业出版社 Robert F Pierret: Semiconductor Device Fundamentals(Part1) g Donald A. Neamen Semiconductor Physics and Devices 今 sysem/ 今C-e-m/  考核方式 任选课,3个学分,48学时 考核方式:闭卷笔试 课程成绩评分 一考试70%,平时30%(出勤、课上表现) 考试内容 以教材和上课内容为主  课程内容 半导体材料概述 ●锗、硅晶体的制备工艺 锗、硅单晶中的杂质与缺陷 ●硅的外延生长 Ⅲ-V族化合物半导体 -Ⅵ族化合物半导体 氧化物半导体材料 其他半导体材料 其他微电子材料与工艺的介绍  学习目的和要求 熟悉硅、锗等元素半导体 包括硅、锗单晶中的杂质和缺陷问题 ●熟悉砷化镓等化合物半导体的基本性质 掌握相图的识别方法并会用相图来指引实际生产中 工艺条件选择 掌握化学提纯和区熔提纯 掌握晶体生长的原理;通过对外延的学习对半导体 工艺有基本了解 掌握半导体材料