MEMS驻波和多余能量收集的自供电式微波接收机前端的研究.pdf

摘要 摘要 在无线通讯技术飞速发展的今天，微波接收前端作为射频收发组件中不可或缺的组成部分，其 性能对于整个无线通信系统有着至关重要的影响。在对微波信号的接收和处理过程中，对信号的功 率、频率和相位这三大基本参数的检测必不可少，而微波检测系统在实际应用中需要体积小、功耗 低和集成度高的检测器件。此外，在微波接收前端面临着电磁干扰和高功率输入的问题，这些不被 期待的微波信号能量会造成通信质量的下降，同时信号的微波能量没有得到充分利用。 为了解决上述需求与问题，本文基于对MEMS 微波器件的研究，提出了MEMS 驻波和多余能 量收集的自供电式微波接收机前端的研究，主要内容包括： （1）针对微波接收前端中对于微波信号的功率、频率和相位的集成检测的需求： 论文通过设计一种四端口耦合器，将MEMS 热电式功率传感器和功率合成器集成，构成一种基 于MEMS 技术的微波信号集成检测器。四端口耦合器将信号分为主路和耦合支路，主路信号用于功 率检测，支路信号分别用于频率和相位检测。功率检测利用MEMS 热电式功率传感器实现，仿真和 测试结果显示输出热电压与输入功率有良好的线性关系；频率检测是通过耦合电容的设计使得支路 的耦合系数在8-12 GHz 范围内随频率近似线性变化；相位检测利用功率合成器将频率检测的输出电 压控制VCO 产生的参考信号与另一路支路信号合成，得到的输出结果归一化后与相位呈余弦关系。 最后利用ADS 软件进行系统级的仿真，验证了设计的有效性，同时结果显示功率和相位的检测与频 率相关，说明了集成检测的必要性。 （2 ）针对微波接收机前端存在的电磁干扰的问题： 论文提出一种驻波能量收集的MEMS 滤波网络，通过设计带通频段互补的带通滤波器和带阻滤 波器，使得设计频段内的有用信号通过带通滤波器向后级传播，频段外的干扰信号则会被带通滤波 器反射，而被带阻滤波器分流，进一步可以通过RF/DC 转换，由充电电池收集，以实现对驻波的能 量收集，同时减少了接收机前端中的电磁干扰。通过对所设计的滤波器结构进行三维电磁仿真，得 到带通滤波器在4-8 GHz 范围内插入损耗S12-1.3 dB，在4.3-8 GHz 范围内回波损耗小于-10 dB ；带 阻滤波器在4.1-7.4 GHz 范围内插入损耗低于-10 dB，在低于3.4 GHz 和高于8.1 GHz 的频率范围内 带外插损大于-3 dB 。 （3 ）针对微波接收机前端可能面临的高功率输入的问题： 论文提出了一种多余能量收集的MEMS 限幅器，利用MIM 电容结构耦合部分微波信号进行在 线功率检测，根据检测所得信号功率的大小，控制MEMS 固支梁的下拉位移，从而改变支路的耦合 电容，实现对输出信号的幅度限制；对于耦合到支路的多余能量，可以通过RF/DC 转换，由充电电 池收集。微波性能的测试表明，设计的MEMS 限幅器在4-8 GHz 范围内，反射系数S11 低于-10 dB ； 在线式功率检测的结果近似线性，4 GHz、6 GHz 和8 GHz 频率下的检测灵敏度分别为0.56 mV/W 、 0.89 mV/W 和1.25 mV/W ，误差控制在1 % 以内；通过对固支梁结构的仿真，其耦合电容近似在 27-1350 fF 范围内变化，对输出端的限制可达到-3.75 dB 以下。 （4 ）论文最后对所提出的MEMS 驻波和多余能量收集的自供电式微波接收机前端进行了系统 的电路模拟，对其滤波、限幅和能量收集的功能进行了仿真验证。在输入有用信号6 GHz，干扰信 I 东南大学硕士学位论文 号分别为1 GHz 和9 GHz 的情况下，输出端干扰信号被抑制在5 % 以下，而被反射后通过带阻滤波 器的可被收集的干扰信号能量：1 GHz 的高达80 %，9 GHz 的可达60 %；对6 GHz 有用信号的幅 度限制随功率增大而增大，在输入功率300 mW 时，输出被限制在118 mW ，而耦合到支路可被收 集的能量高达80 mW 。 关键词：微波接收机前端、集成检测、能量收集、滤波网络、MEMS 限幅器。 II