扩散泵的结构示意图和工作原理.pdfVIP

. 扩散泵的结构示意图和工作原理 当扩散泵油被电炉加热时， 产生油蒸气沿着导流管经伞形喷嘴向下喷出。 因喷嘴 -1 外面有机械泵提供的真空 （1~10 Pa），故油蒸气流可喷出一长段距离， 构成一个 向出气口方向运动的射流。 射流最后碰上由冷却水冷却的泵壁凝结为液体流回蒸 发器，即靠油的蒸发 喷射 凝结重复循环来实现抽气。 由进气口进入泵内的气体 分子一旦落入蒸气流中便获得向下运动的动量向下飞去。由于射流具有高流速 （约 200m/s），高的蒸气密度，且扩散泵油分子量大（ 300～500），故能有效地 带走气体分子。气体分子被带往出口处再由机械泵抽走。 油扩散泵故障处理 （1）扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已 完全冷却后方可关闭冷却水。 （2）泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。 . . （3）被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。 （4）泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。 并将冷却水套内的剩水吹净。保存场地的室温应在 10℃～40 ℃之间。 （5）泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。 （6）泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。 a. 泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。 b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗， 并置于 80℃～100℃温度下烘干或用电吹风吹干。 c. 处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级 喷嘴间隙要按原要求调整好。 关于扩散泵返油问题 通过咨询和了解，结合我公司油扩散泵实际问题 ,关于扩散泵返油问题， 得出如下几点： 咨询了爱得华售后服务中心，他们认为扩散泵返油与如下问题有关： a 、冷 却水； b 、机器保养； c 、油质等。扩散泵返油对抽气能力会有影响，与以前抽 气能力作对比是否发生变化， 前管压力是否与以前一致？如果确认这些都没有问 题，则可判断没有返油。 如果返油，在泵口也可以看到有残留油污。 至于反油率， 泵一生产出来就定了的，我们没有这个标准，也没有检测手段。 . . 后来咨询了湘潭宏大真空设备有限公司黄总 ( 我们的老交道 ) ，他们也生产 油扩散泵，他认为，首先检查冷却水温和流量是否正常，是否有冷阱。扩散泵返 油可以通过观察发现： a 、泵口周围（提升阀板压盖范围以外）有较多油污； b 、 扩散泵提升阀板背面有较多油污。 如果泵口和阀板都没有油， 则可以判断没有返 油。目前我们还没有具体检测返油率的方法。 同时还咨询穗诚真空设备有限公司等多家公司，得出的结论都大同小异。 通过以上情况可以总结： 一般情况， 扩散泵生产厂家在生产泵时都有返油率这项 指标。最早的测试返油率的方法是用锡箔纸采样称重法， 因其不准确而改用测试 罩采样、 滴管收集法， 这种方法精度太低， 对于现有的低返油率扩散泵根本无法