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华星光电二次配 高纯气体管道检测方案 上海科信检测科技有限公司 二零一一年六月二日 测试概况 设备PCVD80机台需要进行测试的管路系统为二次配系统，包含： Special Gas System，特气种类包括NH3、SiH4、1% PH3/H2、NF3、PH2 测试包含内容：保压、氦气检漏、氧份、颗粒、水分 Bulk Gas System，种类包括CDA、GN2； 测试包含内容：吹扫、保压 Bulk Gas System，种类包括PN2、PAr、PHe； 测试包含内容：保压、颗粒、氦气检漏、氧份、颗粒、水分 测试项目及方法学 1.保压测试 a.测试目的 确保管路输送系统没有明显的泄漏及管路耐压情况进行判断，以便对管路系统进行氦测漏。 b.测试规则 测试时间为24小时，测试压力不能小于设计压力的1.5倍，经温度纠正后的允许压力降为不大于开始压力的1%. 压力变化方程式(考虑到温度影响) P2=测试结束压力值 (PSIG) P1=测试开始压力值(PSIG) T2=测试结束温度值 (℃) T1=测试开始温度值(℃) Pta=考虑到温度影响的压力变化值 c.测试仪器 保压计 d.测试前准备 在图纸上标出要进行压力测试的管路,以及保压计的放置位置。测试中在管线上拆卸的任何部件都要在图纸以及最后的测试报告中标出。测试开始之前，仔细的检查管线以确保给