光学显微镜与电子显微镜的比较示意图 元青花瓷片3D效果 古代青铜泡3D效果图 二、电子显微镜 1、扫描电子显微镜 扫描电子显微镜的原理与成像: 由电子枪发射一定能量的电子,以其交叉斑作为电子源,经二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束,在扫描线圈驱动下,于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。聚焦电子束与试样相互作用,产生二次电子发射(以及其它物理信号),二次电子发射量随试样表面形貌而变化。二次电子信号被探测器收集转换成电讯号,经视频放大后输入到显像管栅极,调制与入射电子束同步扫描的显像管亮度,得到反映试样表面形貌的二次电子像。 常用的扫描电子显微镜的结构系统如图所示,主要由五部分组成,分别是电子光学系统、扫描系统、信号检测系统、显示系统、电源和真空系统。 样品的要求: ①样品必须是固体(块状、粉示状均可),样品表面要干净,如含水的样品须先进脱水处理,并要防止样品因脱水而变形,表面污染的则要清洗。 ② 样品的尺寸以能放入样品台上为宜,太大的要切割取样。 ③ 样品要有良好的导电性,对于导电性差的样品如陶瓷、植物、编织品等,在电子束作用下会产生电荷堆积,影响入射电子束斑和样品发射的二次电子运动轨迹,使图像质量下降。因此这类试样在观察前要喷镀导电层进行处理,通常采用二次电子发射系数较高的金银或碳膜做导电层,膜
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