经典薄膜的形成过程及生长方式.pptVIP

* 温度越高，则需要形成的临界核心的尺寸越大，形核的临界自由能势垒也越高，这与高温时沉积的薄膜首先形成粗大的岛状组织相吻合。 低温时，临界形核自由能下降，形成的核心的数目增加，将有利于形成晶粒细小而连续的薄膜组织。 .......... * 5.3 、薄膜生长过程与薄膜结构 薄膜的生长模式可以分为外延式生长和非外延式生长两种生长模式。 .......... * 5.3.2 低温抑制型薄膜生长 在衬底温度较低的情况下，沉积薄膜呈现一种纤维状的组织，这是在沉积过程中原子扩散能力有限、大量晶核竞争生长的结果。 在薄膜的断面上，这种纤维状组织表现的最为明显，这是因为纤维状组织的晶粒边界处密度较低，结合强度较弱，所以是常常发生断裂的地方。 如图5.10所示。 .......... * .......... * 纤维状组织的一个特点是：纤维的生长方向与粒子的入射方向近似地满足正切夹角关系。 tanα ＝2tanβ α ，β分别为粒子入射方向和纤维生长方向与衬底法向间的夹角。 实验证明，纤维状生长与薄膜沉积时原子入射的方向性有关。 .......... * 由图中可以看出，随着温度的提高，薄膜密度上升。 .......... .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu .iuu