高纯水系统作业流程图.docxVIP

高纯水概述及系统步骤 什么是高纯水？ 从学术角度讲，高纯水又名超纯水，是指化学纯度极高水，其关键应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以通常应用最普遍还是电子工业。比如电力系统所用高纯水，要求各杂质含量低到达“微克/升”级。在纯水制作中，水质标准所要求各项指标应该依据电子(微电子)元器件(或材料)生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏颗粒物质尺寸为其线宽1/5-1/10)，但因为微电子技术复杂性和影响产品质量原因繁多，至今尚无一份由工艺试验得到适适用于某种电路生产完整水质标准。不过多年来电子级水标准也在不停地修订，而且高纯水分析领域很多突破和发展，新仪器和新分析方法不停应用全部为制水工艺发展发明了条件。 　　高纯水国家标准为：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，现在中国高纯水标准将电子级水分为五个等级：Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级，该标准是参照ASTM电子级标准而制订。 　　高纯水水质标准中所要求各项指标关键依据有：1、微电子工艺对水质要求；2、制水工艺水平；3、检测技术现实状况。 　　在高纯水生产过程中，水中阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等去除；水中颗粒通常可用超出滤、膜过滤等技术去除；水中细菌，现在国内多采取加药或紫外灯照射或臭氧杀菌方法去除；水中TOC则通常见活性炭、反渗透处置。在高纯水应用领域中，水纯度直接关系到器件性能、可靠性、阈值电压，造成低击穿，产生缺点，还影响材料使用寿命，所以高纯水要求含有相当高纯度和精度。 天然水中溶解气体关键有O2、CO2、SO2和少量CH4、氡气、氯气等，在高纯水生产过程中，还必需去除这类气体。为了有用去除杂质，在生产高纯水过程中，加入了某些化学杀菌剂，如甲醛、双氧水、次氯酸钠等。 高纯水系统步骤图