薄膜形成过程及生长方式精选.pptVIP

薄膜的形成过程及生长方式 主讲人:张宝贤 学号班级:12级3班  目录 51薄膜生长过程概述 52形核阶段 53薄膜生长过程与薄膜结构 习题  5.1、薄膜生长过程概述 薄膜的生长可划分为两个不同阶段: 新相的形核阶段 薄膜的生长阶段 51.1形核 形核是薄膜的诞生阶段,从本质上讲 是一个气-固相变的过程。  薄膜通常通过材料的气态原子凝聚而 E形成,在薄膜形成的最早阶段,原子凝 聚是以三维方式开始的,然后通过扩散 过程核长大形成连续膜。 薄膜新奇的结构特点和性质大部分归 因于生长过程,所以膜生长是最为基 本的  5.12薄膜的生长模式 ·薄膜的生长模式可以归纳为三种 ·(1)岛状模式(ⅴ elmer- Weber模式) 2)层状模式( Frank- van der Merwe) (3)层岛复合模式( Stranski Krastanov 三种模式的示意图52  a岛状生长 oe.i 。Q b层状生长 c层状-岛状生长 图5.2三种不同的薄膜生长模式  1.岛状模式 在绝缘体、卤化物晶体、石墨、云母等 非金属衬底上沉积金属大多数都是这 生长模式  2.层状模式 例如,半导体膜的单晶外延生长就是这 种模式  52形核阶段 新相的形核过程分为两种类型:即自发 形核和非自发形核。 所谓自发形核指的是整个形核过程完全 是在相变自由能的推动下进行的; 韭自发形核则指的是除了有相变自由能 做推动力外,还有其他的因素起着帮助 新相核心生成的作用。  温度越高,则需要形成的临界核心 的尺寸越大,形核的临界自由能势垒 也越高,这与高温时沉积的薄膜首先 形成粗大的岛状组织相吻合。 低温时,临界形核自由能下降,形 成的核心的数目增加,将有利于形成 晶粒细小而连续的薄膜组织。