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中文摘要
摘 要
回音壁微腔因其具有超高的品质因子、超小的模式体积等优势在传感检测、
非线性光学、激光器和量子信息等领域具有潜在的应用价值。其中，片上回音壁
微腔因可以实现与其他器件的兼容与集成而受到广泛关注。为了提高片上回音壁
微腔的实用化，其制备方式需要满足高效率、低成本和大规模生产等要求。基于
此，本文提出一种利用纳米压印技术制作基于氟化镁（MgF ）衬底的聚二甲基硅
2
氧烷（Polydimethylsiloxane ，PDMS ）微环谐振腔的方法，主要研究内容如下：
① 基于回音壁微环谐振腔的模场特征、波导耦合理论以及回音壁微腔的特征
参数等理论基础对PDMS 微环谐振腔进行理论分析，并利用时域有限差分法（Finite
Difference Time Domain ，FDTD ）分析耦合间距、微环尺寸对其谐振特性的影响，
为 PDMS 微环谐振腔的尺寸选取和特性研究提供理论指导。
② 提出用纳米压印技术制作片上 PDMS 微环谐振腔。根据纳米压印技术的工
艺过程，设计微环尺寸并将对应的图形转移至硅片模板上，并对配置好的 PDMS
溶液进行旋涂、压印、固化和脱模等操作。结果表明通过纳米压印技术可以成功
地制作出基于 MgF2 衬底的 PDMS 微环谐振腔。
③ 选用拉锥光纤作为耦合器件，通过透射光谱测试系统研究基于 MgF2 衬底
的PDMS 微环谐振腔的谐振特性。实验结果测得，片上 PDMS 微环谐振腔的品质
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因子约为 10 ，并且耦合间距和微环尺寸会影响其谐振谱线。同时，对片上PDMS
微环谐振腔的温度响应特性进行实验研究，结果表明其谐振波长的变化与温度呈
线性关系，对应的温度灵敏度约为-0.29nm/ºC 。
关键词：回音壁模式；纳米压印技术；片上PDMS 微环腔；温度响应
I
英文摘要
Abstract
Whispering gallery mode (WGM) resonators with ultra-high quality factor and
ultra-small mode volume have potentials in sensing and detection, nonlinear optics,
lasers and quantum information. Among them, on-chip WGM resonators can achieve
compatibility and integration with other devices. Therefore, in order to improve the
practical application of on-chip WGM resonators, it is necessary to ensure that the
preparation method satisfies the requirements of mass production, high production
efficiency and low cost. A new preparation scheme of polydimethylsiloxane (PDMS)
optical microring resonator on MgF substrate by nano-imprint lithography is proposed
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